[發明專利]一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構在審
| 申請號: | 201711201072.2 | 申請日: | 2017-11-27 |
| 公開(公告)號: | CN109839682A | 公開(公告)日: | 2019-06-04 |
| 發明(設計)人: | 韓崇利 | 申請(專利權)人: | 成都中源紅科技有限公司 |
| 主分類號: | G02B1/14 | 分類號: | G02B1/14;G02B1/115 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 610100 四川省成都市*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 保護膜 硫化鋅 保護層 紅外光學窗口 類金剛石膜層 硫化鋅膜層 硒化鋅膜層 膜系結構 粘接層 多層減反射膜 硫化鋅材料 強度保護層 薄膜材料 窗口表面 反射損失 高速運動 基底結合 極端環境 膜層沉積 牢固度 吹塵 多層 膜系 制備 抵抗 應用 | ||
1.一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構,其特征在于,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有2-5層,其厚度為20-30nm;所述硒化鋅膜層有1-3層,其厚度為10-20nm;所述硫化鋅膜層有5-8層,其厚度為30-50nm。
2.根據權利要求1所述的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構,其特征在于,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有2層,其厚度為20nm;所述硒化鋅膜層有1層,其厚度為10nm;所述硫化鋅膜層有5層,其厚度為30nm。
3.根據權利要求1所述的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構,其特征在于,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有3層,其厚度為23nm;所述硒化鋅膜層有2層,其厚度為15nm;所述硫化鋅膜層有6層,其厚度為35nm。
4.根據權利要求1所述的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構,其特征在于,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有5層,其厚度為30nm;所述硒化鋅膜層有3層,其厚度為20nm;所述硫化鋅膜層有8層,其厚度為50nm。
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