本發明涉及一種加熱系統，包括：多個加熱組件，每個加熱組件包括一個加熱件或者串聯的至少兩個加熱件；多個加熱組件的兩個連接端分別與第一端子和第二端子相連；第一端子和第二端子用于連接電源；與所述加熱組件對應設置有：電流互感器和電流檢測器；所述電流互感器用于與對應的加熱組件與第一端子或第二端子的連接導線互感；所述電流檢測器用于檢測所述電流互感器上的電流，以便于通過未檢測到所述電流來判斷該加熱組件中的加熱件存在異常。本發明還提供去氣腔室。不僅便于快速地檢查出加熱件的異常，而且操作容易、結構簡單、成本低廉。

技術領域

本發明屬于半導體設備制造技術領域，具體涉及一種加熱腔室及去氣腔室。

背景技術

物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，簡稱PVD)工藝在半導體制造業中占據重要的位置，通常一套完整PVD設備至少包括去氣(Degas)、預清洗(Preclean)、物理氣相沉積(PVD)三部分。去氣的主要作用是：在沉積工藝之前對工件進行加熱，以達到去除工件表面的水和有機物的目的。去氣腔室一般采用燈管加熱或燈泡加熱，燈管或燈泡通常以并聯方式形成加熱電路，在加熱過程中需要隨時清楚燈管或燈泡的工作狀態(例如，燈絲是否熔斷)。

現有技術中采用如下方式加熱是否出現異常：通過軟件采集加熱電路在每個輸入電壓下的對應電流的數值以形成標準列表，如果加熱電路中有燈管或燈泡的燈絲熔斷，則電流的數值會明顯減少，故，通過將實際電流數值與標準列表中的對應數值進行比較，若，二者差距到一定程度，則認為有燈管或燈泡的燈絲熔斷并拋出報警。

但是，采用現有的方式在實際應用中存在以下問題：

其一，由于燈絲受熱后電阻會發生變化，因此，需要采集一系列電流信息作為標準列表中數值，以作為比較的依據；并且，每次調試都需要學習一次，且不同機臺情況不一樣，從而造成判斷加熱是否出現異常的過程較為復雜。

其二，無法明確具體是哪一個燈管或燈泡的燈絲熔斷，還需要人為進行排查確定，而燈管或燈泡的燈絲的數量較多，因此，排查相對費時費力。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種加熱系統及去氣腔室，不僅該加熱系統的判斷加熱過程異常的過程操作容易、結構簡單、成本低廉；而且便于快速地排查出哪個加熱件異常。

為解決上述問題，本發明提供了一種加熱系統，包括：多個加熱組件，多個所述加熱組件并聯后，與電源串聯；其中，與至少一個所述加熱組件對應設置有：電流互感器和電流檢測器；所述電流互感器用于感應與其對應的所述加熱組件所在的并聯支路上的電流；所述電流檢測器用于檢測所述電流互感器上的電流，以便于通過所述電流檢測器未檢測到所述電流來確定與該電流檢測器對應的所述加熱組件存在異常。

優選地，每個加熱組件包括一個加熱件或者串聯的至少兩個加熱件；所有的加熱組件均對應設置有所述電流互感器和所述電流檢測器。

優選地，所述電流檢測器還用于將檢測到的電流轉換為交流電壓信號，并對所述交流電壓信號整流獲得直流電壓信號，以便于通過所述電流檢測器檢測到所述直流電壓信號來確定能夠檢測到所述電流。

優選地，所述電流檢測器還用于根據獲得的直流電壓信號來選擇性地控制固定電壓的輸出，以通過所述電流檢測器檢測到所述固定電壓來確定能夠檢測到所述電流。

優選地，所述電流檢測器包括：轉換模塊，其與所述電流互感器連接，用于將電流互感器得到的電流轉換為電壓信號；放大模塊，用于將轉換模塊得到的電壓信號放大；整流模塊，用于將放大模塊獲得的交流信號進行整流處理獲得直流電壓信號；濾波模塊，用于對整流模塊獲得的直流電壓信號進行濾波；輸出模塊，用于將濾波模塊獲得的信號與預設偏置電壓進行比較，并基于比較結果選擇性地控制固定電壓的輸出。