[發明專利]加熱系統及去氣腔室在審
| 申請號： | 201710908793.0 | 申請日： | 2017-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN109587831A | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 王肅珂 | 申請（專利權）人： | 北京北方華創微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H05B1/02 | 分類號： | H05B1/02;G01R19/22 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;張天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加熱組件 加熱件 電流互感器 電流檢測器 加熱系統 腔室 去氣 連接導線 連接電源 連接端 檢測 互感 串聯 檢查 | ||
1.一種加熱系統，其特征在于，包括：多個加熱組件，多個所述加熱組件并聯后，與電源串聯；其中，與至少一個所述加熱組件對應設置有：電流互感器和電流檢測器；
所述電流互感器用于感應與其對應的所述加熱組件所在的并聯支路上的電流；
所述電流檢測器用于檢測所述電流互感器上的電流，以便于通過所述電流檢測器未檢測到所述電流來確定與該電流檢測器對應的所述加熱組件存在異常。
2.根據權利要求1所述的加熱系統，其特征在于，每個加熱組件包括一個加熱件或者串聯的至少兩個加熱件；所有的加熱組件均對應設置有所述電流互感器和所述電流檢測器。
3.根據權利要求1所述的加熱系統，其特征在于，所述電流檢測器還用于將檢測到的電流轉換為交流電壓信號，并對所述交流電壓信號整流獲得直流電壓信號，以便于通過所述電流檢測器檢測到所述直流電壓信號來確定能夠檢測到所述電流。
4.根據權利要求3所述的加熱系統，其特征在于，所述電流檢測器還用于根據獲得的直流電壓信號來選擇性地控制固定電壓的輸出，以通過所述電流檢測器檢測到所述固定電壓來確定能夠檢測到所述電流。
5.根據權利要求4所述的加熱系統，其特征在于，所述電流檢測器包括：
轉換模塊，其與所述電流互感器連接，用于將電流互感器得到的電流轉換為電壓信號；
放大模塊，用于將轉換模塊得到的電壓信號放大；
整流模塊，用于將放大模塊獲得的交流信號進行整流處理獲得直流電壓信號；
濾波模塊，用于對整流模塊獲得的直流電壓信號進行濾波；
輸出模塊，用于將濾波模塊獲得的信號與預設偏置電壓進行比較，并基于比較結果選擇性地控制固定電壓的輸出。
6.根據權利要求4或5所述的加熱系統，其特征在于，還包括：控制器；
所述控制器，與所述電流檢測器相連，用于通過所述電流檢測器未檢測到所述固定電壓來判斷與該電流檢測器對應的所述加熱組件存在異常。
7.根據權利要求6所述的加熱系統，其特征在于，還包括：報警器；
所述報警器與所述控制器相連，用以在所述控制器判斷出加熱組件存在異常時所述控制器控制所述報警器發出報警。
8.根據權利要求1所述的加熱系統，其特征在于，每個加熱組件的兩個連接端分別連接第一端子和第二端子，所述第一端子和所述第二端子用于連接電源；所述電流互感器用于與對應的加熱組件和第一端子或第二端子之間的連接導線互感；在所述第一端子與所述電源之間或者所述第二端子與所述電源之間還設置有調功器。
9.根據權利要求5所述的加熱系統，其特征在于，所述整流模塊采用半波整流方式。
10.一種去氣腔室，包括加熱系統，其特征在于，所述加熱系統采用權利要求1-9任意一項所述的加熱系統。
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