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[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體裝置及其制造方法有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201710728257.2 申請(qǐng)日: 2017-08-23
公開(kāi)(公告)號(hào): CN109427676B 公開(kāi)(公告)日: 2021-08-13
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 周飛 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司
主分類(lèi)號(hào): H01L21/8238 分類(lèi)號(hào): H01L21/8238;H01L27/092
代理公司: 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038 代理人: 李浩
地址: 201203 *** 國(guó)省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 裝置 及其 制造 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,其特征在于,包括:

提供半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括:半導(dǎo)體襯底;在所述半導(dǎo)體襯底上的多個(gè)半導(dǎo)體鰭片,所述多個(gè)半導(dǎo)體鰭片包括:間隔開(kāi)的第一半導(dǎo)體鰭片和第二半導(dǎo)體鰭片,所述第一半導(dǎo)體鰭片用于形成第一器件,所述第二半導(dǎo)體鰭片用于形成與所述第一器件具有不同導(dǎo)電類(lèi)型的第二器件;在每個(gè)所述半導(dǎo)體鰭片周?chē)臏喜垡约疤畛渌鰷喜鄣臏喜劢^緣物層,其中,所述溝槽絕緣物層的上表面與所述半導(dǎo)體鰭片的上表面基本齊平;

對(duì)所述第一半導(dǎo)體鰭片執(zhí)行第一抗穿通摻雜以在所述第一半導(dǎo)體鰭片中形成第一抗穿通區(qū)域;

在執(zhí)行所述第一抗穿通摻雜之后,去除所述第二半導(dǎo)體鰭片的一部分以形成凹陷,其中,所述凹陷的深度大于所述第一抗穿通摻雜的摻雜深度;以及

在所述凹陷中且在所述第二半導(dǎo)體鰭片的剩余部分上形成具有第二抗穿通區(qū)域的外延層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,

所述凹陷的深度范圍為至

所述第一抗穿通摻雜的摻雜深度的范圍為至

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,

所述外延層包括:在所述第二半導(dǎo)體鰭片的剩余部分上的半導(dǎo)體層和在所述半導(dǎo)體層上的溝道層;

其中,所述第二抗穿通區(qū)域位于所述半導(dǎo)體層中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,在所述凹陷中且在所述第二半導(dǎo)體鰭片的剩余部分上形成具有第二抗穿通區(qū)域的外延層的步驟包括:

在所述凹陷中且在所述第二半導(dǎo)體鰭片的剩余部分上外延形成半導(dǎo)體層;

對(duì)所述半導(dǎo)體層執(zhí)行第二抗穿通摻雜以在所述半導(dǎo)體層中形成第二抗穿通區(qū)域;以及

在所述半導(dǎo)體層上外延形成溝道層。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,在所述凹陷中且在所述第二半導(dǎo)體鰭片的剩余部分上形成具有第二抗穿通區(qū)域的外延層的步驟包括:

在所述凹陷中且在所述第二半導(dǎo)體鰭片的剩余部分上外延形成半導(dǎo)體層,并且在該外延的過(guò)程中,對(duì)所述半導(dǎo)體層執(zhí)行原位摻雜以形成第二抗穿通區(qū)域;以及

在所述半導(dǎo)體層上外延形成溝道層。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,

所述半導(dǎo)體層的材料與所述第二半導(dǎo)體鰭片的材料相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于,

所述半導(dǎo)體層的材料包括:硅;

所述半導(dǎo)體層的厚度范圍為至

所述溝道層的材料包括:硅鍺、碳化硅或III-V族化合物。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,

通過(guò)第一離子注入執(zhí)行所述第一抗穿通摻雜;

其中,在所述第一半導(dǎo)體鰭片用于形成NMOS器件的情況下,所述第一離子注入的摻雜物包括:硼或二氟化硼;

或者,在所述第一半導(dǎo)體鰭片用于形成PMOS器件的情況下,所述第一離子注入的摻雜物包括:磷或砷。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,

通過(guò)第二離子注入執(zhí)行所述第二抗穿通摻雜;

其中,在所述第二半導(dǎo)體鰭片用于形成PMOS器件的情況下,所述第二離子注入的摻雜物包括:磷或砷;

或者,在所述第二半導(dǎo)體鰭片用于形成NMOS器件的情況下,所述第二離子注入的摻雜物包括:硼或二氟化硼。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法,其特征在于,

在所述第二半導(dǎo)體鰭片用于形成PMOS器件的情況下,所述原位摻雜的摻雜物包括:磷或砷;

或者,在所述第二半導(dǎo)體鰭片用于形成NMOS器件的情況下,所述原位摻雜的摻雜物包括:硼或二氟化硼。

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