本發(fā)明公開了一種電子槍專用多工位預處理裝置，涉及電子槍技術，特別涉及電子槍預處理技術；本發(fā)明所要解決的技術問題是，能夠對多支電子槍同時進行預處理，提高處理的工作效率和便利性；其特征在于：該裝置包括電子槍主體存放管道、電子槍變徑接口、超高真空閥、離子泵等；所述電子槍主體存放管道壁上設置有多個電子槍變徑接口；由于采用上述結構，可以同時進行多支電子槍的耐壓測試、分解、激活與老化，實現(xiàn)每支電子槍的真空獨立，各工位不必同時使用，提高了電子槍預處理的效率和便利性，并能大幅度縮短電子槍進入正常工作狀態(tài)的周期。

技術領域

本發(fā)明涉及電子槍技術，特別涉及電子槍預處理技術。

背景技術

電子加速器是將帶電粒子進行加速的裝置，其中電子直線加速器是利用高微波功率在行波、駐波加速結構中建立縱向電場對電子束進行加速的一種諧振式加速器，它可以將極大的束流提高到極高的能量，因而在加速器中占有獨特的地位；電子槍是電子直線加速器不可或缺的重要構件，它發(fā)射出具有一定能量、一定流強、一定束流直徑和發(fā)射角的電子束流注入到加速器的加速管中，也是一種真空電子器件。

電子槍組裝完成以后，在等待交付給使用廠家、直到安裝出束期間，有一個運輸、入庫存放和分解激活的過程，單是分解激活就大約需要很多天，期間電子槍要持續(xù)維持在真空狀態(tài)，以實現(xiàn)耐壓測試、材料除氣、陰極燈絲激活和老化等工藝；在電子槍安裝前經常需要對電子槍進行測試，以獲得包括導流系數、陰極分解激活對應的電流電壓等電數據，從而對電子槍運行前的狀態(tài)參數進行標定和記錄，方便與運行后的參數作對比，也要經歷前述過程；再者，一般一支電子槍的使用壽命大約為數千小時，屬于壽命器件，每更換一支電子槍，都需要首先對其進行上述預處理，方能連接加速器主機進行正常工作。因此需要一種裝置能在真空狀態(tài)下實現(xiàn)上述預處理工藝過程。

王貴誠等報告了一種電子槍預處理真空裝置(20OMeV直線加速器氧化物陰極柵控電子槍的激活與老化.中國科技大學學報，1985年3月增刊:137-140.)，它是采用法拉第筒的結構，但該裝置每次只能處理一支電子槍，工作效率低，不利于進行電子槍的批量生產加工；同時若對每一支電子槍都配置一套相應的裝置則增加了生產成本，也帶來不便利。除此之外，還未見用于批量生產的電子槍預處理裝置的報道。

發(fā)明內容

本發(fā)明所要解決的技術問題是，提供一種電子槍專用多工位預處理裝置，能夠對多支電子槍同時進行預處理，提高工作效率和便利性。

為達到上述目的，本發(fā)明的技術方案是，該裝置包括電子槍主體存放管道3、電子槍變徑接口4、左端變徑法蘭2和右端變徑法蘭7、用于保持真空的超高真空閥1和超高真空擋板閥5還有超高真空插板閥6、離子泵8、支撐平臺9；電子槍主體存放管道3的右端設置有超高真空插板閥6和右端變徑法蘭7，與離子泵8對接，用來建立并維持管道真空度，左端設置有左端變徑法蘭2，與超高真空閥1對接，用于連接分子泵進行初期真空處理；電子槍主體存放管道3壁上設置有多個電子槍變徑接口4，每個接口可以連接一只電子槍；支撐平臺9用于安放、固定上述裝置。

電子槍主體存放管道3壁上均勻設置2-10個電子槍變徑接口4，以便同時處理更多的電子槍。

在電子槍主體存放管道3基礎上，以相似的結構作為電子槍主體存放延長管，順序對接，使電子槍變徑接口4隨之增多，以便同時處理更多的電子槍。

電子槍主體存放管道3端面設置有法蘭，右端變徑法蘭7與離子泵8的法蘭對接，左端變徑法蘭2與超高真空閥1對接，左端也可以在增加工位時與主體存放延長管的法蘭對接。

電子槍主體存放管道3表面有一個開口焊接一個標準刀口法蘭用來安裝冷規(guī)11，用于連接真空計讀取管道真空度，對管道真空度進行監(jiān)測。

電子槍變徑接口4的管腔與電子槍主體存放管道3之間設置有超高真空擋板閥5，用以控制電子槍內部與真空管道真空環(huán)境的通斷，并且做到任意一支電子槍可獨立拆卸而不破壞電子槍主體存放管道3的真空。