[發明專利]電子槍專用多工位預處理裝置有效
| 申請號： | 201710604467.0 | 申請日： | 2017-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN107396527B | 公開（公告）日： | 2023-06-09 |
| 發明（設計）人： | 邵珠振;張巖松;劉華周;李傳南;王劍鋼;李歡 | 申請（專利權）人： | 山東藍孚高能物理技術股份有限公司 |
| 主分類號： | H05H7/22 | 分類號： | H05H7/22;H05H15/00;G01R31/00;G01R31/12;G01L21/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 250101 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子槍 專用 多工位 預處理 裝置 | ||
1.一種電子槍專用多工位預處理裝置，其特征在于：該裝置包括電子槍主體存放管道(3)、電子槍變徑接口(4)、左端變徑法蘭(2)和右端變徑法蘭(7)、超高真空閥(1)和超高真空擋板閥(5)還有超高真空插板閥(6)、離子泵(8)、支撐平臺(9)；所述電子槍主體存放管道(3)的右端設置有超高真空插板閥(6)和右端變徑法蘭(7)，與離子泵(8)對接；所述電子槍主體存放管道(3)的左端設置有左端變徑法蘭(2)，與超高真空閥(1)對接；所述電子槍主體存放管道(3)壁上設置有多個電子槍變徑接口(4)；所述支撐平臺(9)用于安放、固定上述裝置。
2.如權利要求1所述的電子槍專用多工位預處理裝置，其特征在于：所述電子槍主體存放管道(3)壁上均勻設置2-10個電子槍變徑接口(4)。
3.如權利要求1所述的電子槍專用多工位預處理裝置，其特征在于：在所述電子槍主體存放管道(3)基礎上，以相似的結構作為電子槍主體存放延長管，順序對接，使電子槍變徑接口(4)隨之增多。
4.如權利要求1所述的電子槍專用多工位預處理裝置，其特征在于：所述電子槍主體存放管道(3)表面有一個開口焊接一個標準刀口法蘭用來安裝冷規(11)。
5.如權利要求1所述的電子槍專用多工位預處理裝置，其特征在于：所述電子槍變徑接口(4)與電子槍主體存放管道(3)之間設置有超高真空擋板閥(5)。
6.如權利要求1所述的電子槍專用多工位預處理裝置，其特征在于：所述電子槍變徑接口(4)為變徑法蘭接頭，變徑范圍CF35-CF150。
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