1.一種化學氣相沉積工藝腔室，其特征在于，所述化學氣相沉積工藝腔室的四周和底部的內壁上分別內嵌一個石英晶震片，頂部的內壁上設有工藝氣體的出口位置，沒有石英晶震片；

所述石英晶震片均位于其所在內壁的正中間，包括電極鍍膜層，所述電極鍍膜層與化學氣相沉積工藝腔室的內部連通，在所述電極鍍膜層上形成堆積膜層，所述石英晶震片的頻率隨著堆積膜層的厚度的變化而變化；

頻率監測器，所述頻率監測器與石英晶震片連接，利用所述頻率監 測器檢測石英晶震片的頻率；

控制器，所述控制器與頻率監測器相連，頻率監測器所測得的頻率值上傳到控制器，所述控制器根據頻率監測器所測得的頻率變化實時監測化學氣相沉積工藝腔室的內壁堆積膜層厚度的變化以判斷清洗終點時間。