技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種化學(xué)藥液供給系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體行業(yè)需要用到很多的化學(xué)溶液，大多屬于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿或強(qiáng)腐蝕性的溶液。出于安全和生產(chǎn)的需求，往往采用供液系統(tǒng)進(jìn)行藥液的輸送或混合后再輸送。尤其使用的藥液是混合溶液時(shí)，需要將多種藥液從藥液桶或儲(chǔ)液桶等中抽取出來(lái)送入混合液儲(chǔ)存槽中進(jìn)行藥液混合。但是當(dāng)藥液桶中液位較低時(shí)，各路藥液有可能會(huì)在抽取藥液的過(guò)程中吸入空氣，使得混液結(jié)果不準(zhǔn)確，從而導(dǎo)致生產(chǎn)工藝出錯(cuò)。有時(shí)為了防止液位較低吸入空氣，往往在液位較高時(shí)就需更換新藥液桶，造成藥液的浪費(fèi)，增加成本。

本公司先前的一種化學(xué)藥液供給系統(tǒng)如圖1所示，包括藥液A的原液桶11、藥液B的原液桶21、藥液混合槽31；

藥液A的原液桶11旁近原液桶11底部設(shè)有原液桶液位傳感器10，原液桶11中設(shè)有抽液管12，抽液管12的上端連接原液輸送管路一端，原液輸送管路的另一端連接輸送泵14，流量計(jì)13安裝在原液輸送管路上；輸送泵14通過(guò)原液出口管路15連接藥液混合槽31；在藥液混合槽31旁裝有至少兩個(gè)混合槽液位傳感器30，分別靠近藥液混合槽頂部和底部，用于分別監(jiān)測(cè)藥液混合槽31的高液位和低液位；同樣地，藥液B的原液桶21旁靠近原液桶21底部設(shè)有原液桶液位傳感器20，原液桶21中設(shè)有抽液管22，抽液管22的上端連接原液輸送管路一端，原液輸送管路的另一端連接輸送泵24，流量計(jì)23安裝在原液輸送管路上；輸送泵24通過(guò)原液出口管路25連接藥液混合槽31；

藥液混合槽31的底部或一側(cè)下部通過(guò)藥液吸入管路32連接循環(huán)泵33，循環(huán)泵33連接三通閥門(mén)36的第一端，三通閥門(mén)36的第二端通過(guò)循環(huán)管路34連接藥液混合槽31的頂部或一側(cè)上部；三通閥門(mén)34的第三端連接藥液混合槽31的混合液出口管路35；

上述化學(xué)藥液供給系統(tǒng)的工作過(guò)程如下：原液桶液位傳感器可監(jiān)測(cè)原液桶中液位過(guò)低，原液桶中藥液液位過(guò)低時(shí)觸發(fā)低液位報(bào)警；

按所需比例設(shè)定藥液A和藥液B各自抽液量，然后從各原液桶的藥液中開(kāi)始抽液，將各路藥液打入藥液混合槽中進(jìn)行混合；當(dāng)某一路的流量計(jì)檢測(cè)到該路所需藥液量已滿足要求，則該路停止抽液；當(dāng)兩路藥液量都滿足需求時(shí)，兩路藥液管路上的輸送泵都停止工作；然后藥液混合槽的循環(huán)泵33開(kāi)始工作，讓藥液通過(guò)循環(huán)管路34在藥液混液槽中充分混合；藥液充分混合后，工藝時(shí)則通過(guò)藥液混合槽31的混合液出口管路35連至主機(jī)臺(tái)進(jìn)行工作；藥液混合槽31旁裝有混合槽液位傳感器30，當(dāng)藥液混合槽液位過(guò)低時(shí)，則觸發(fā)低液位報(bào)警，要求補(bǔ)液；當(dāng)藥液混合槽液位過(guò)高時(shí)，則觸發(fā)高液位報(bào)警，兩路藥液停止進(jìn)液。

各原液桶的抽液管一般會(huì)采用波紋管，因?yàn)橛糜补艿脑挘瑒t更換原液桶非常不方便，尤其是儲(chǔ)存原液桶的空間狹小的時(shí)候。而采用波紋管之類(lèi)的軟管時(shí)，則可以在換液時(shí)將抽液管取出，然后再更換原液桶。但是采用波紋管則存在一些問(wèn)題，比如波紋管的吸入管道不一定插到了原液桶的最底部，甚至彎曲到了液面上部區(qū)域，可能在吸液時(shí)會(huì)吸入部分空氣，而流量計(jì)卻無(wú)法檢測(cè)到輸送的藥液中是否會(huì)攜帶空氣；又或者是某種藥液所需用量超過(guò)一原液桶的藥液體積時(shí)，則在更換新藥液桶的過(guò)程中也會(huì)導(dǎo)致空氣的吸入。因此最終的溶液混合比例就會(huì)存在偏差，導(dǎo)致工藝出錯(cuò)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，以及通過(guò)該化學(xué)藥液供給系統(tǒng)實(shí)施的化學(xué)藥液供給方法；不僅可以避免在輸送藥液的過(guò)程中吸入空氣造成藥液混合比例不準(zhǔn)確，而且可以提高藥液使用率，從而降低成本。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種化學(xué)藥液供給系統(tǒng)，包括：藥液混合槽和至少兩路連接藥液混合槽的藥液供給機(jī)構(gòu)；

所述藥液供給機(jī)構(gòu)包括原液桶、抽液管、原液輸送管路、輸送泵、流量計(jì)、暫存槽、原液出口管路；

原液桶中設(shè)有抽液管，抽液管的一端連接原液輸送管路一端，原液輸送管路的另一端連接暫存槽；輸送泵和流量計(jì)安裝在原液輸送管路上；暫存槽上設(shè)有用于計(jì)量暫存槽中藥液量的計(jì)量部件；暫存槽底部通過(guò)原液出口管路連接藥液混合槽；暫存槽的原液出口管路上設(shè)有閥門(mén)；

藥液混合槽的底部或一側(cè)下部通過(guò)藥液吸入管路連接循環(huán)泵，循環(huán)泵連接三通閥門(mén)的第一端，三通閥門(mén)的第二端通過(guò)循環(huán)管路連接藥液混合槽的頂部或一側(cè)上部；三通閥門(mén)的第三端連接藥液混合槽的混合液出口管路。

進(jìn)一步地，原液輸送管路的另一端連接暫存槽頂部。

進(jìn)一步地，暫存槽頂部設(shè)有空氣進(jìn)口。

進(jìn)一步地，暫存槽下部分的橫截面小于上部分的橫截面。