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[發明專利]化學藥液供給系統和供給方法在審

專利信息
申請號: 201710123884.3 申請日: 2017-03-03
公開(公告)號: CN106861485A 公開(公告)日: 2017-06-20
發明(設計)人: 李春;黃榮燕 申請(專利權)人: 吉姆西半導體科技(無錫)有限公司
主分類號: B01F5/10 分類號: B01F5/10;B01F15/02;B01F15/04
代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙)32104 代理人: 曹祖良,屠志力
地址: 214194 江蘇省無錫市*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 化學 藥液 供給 系統 方法
【權利要求書】:

1.一種化學藥液供給系統,其特征在于,包括:藥液混合槽和至少兩路連接藥液混合槽的藥液供給機構;

所述藥液供給機構包括原液桶、抽液管、原液輸送管路、輸送泵、流量計、暫存槽、原液出口管路;

原液桶中設有抽液管,抽液管的一端連接原液輸送管路一端,原液輸送管路的另一端連接暫存槽;輸送泵和流量計安裝在原液輸送管路上;暫存槽上設有用于計量暫存槽中藥液量的計量部件;暫存槽底部通過原液出口管路連接藥液混合槽;暫存槽的原液出口管路上設有閥門;

藥液混合槽的底部或一側下部通過藥液吸入管路連接循環泵,循環泵連接三通閥門的第一端,三通閥門的第二端通過循環管路連接藥液混合槽的頂部或一側上部;三通閥門的第三端連接藥液混合槽的混合液出口管路。

2.如權利要求1所述的化學藥液供給系統,其特征在于,

原液輸送管路的另一端連接暫存槽頂部。

3.如權利要求1所述的化學藥液供給系統,其特征在于,

暫存槽頂部設有空氣進口。

4.如權利要求1所述的化學藥液供給系統,其特征在于,

暫存槽下部分的橫截面小于上部分的橫截面。

5.一種化學藥液供給方法,其特征在于,通過一種化學藥液供給系統實施,

所述化學藥液供給系統包括藥液混合槽和至少兩路連接藥液混合槽的藥液供給機構;

所述藥液供給機構包括原液桶、抽液管、原液輸送管路、輸送泵、流量計、暫存槽、原液出口管路;

原液桶中設有抽液管,抽液管的上端連接原液輸送管路一端,原液輸送管路的另一端連接暫存槽頂部;輸送泵和流量計安裝在原液輸送管路上;暫存槽上設有用于計量暫存槽中藥液量的計量部件;暫存槽底部通過原液出口管路連接藥液混合槽;暫存槽頂部設有空氣進口;暫存槽的原液出口管路上設有閥門;

藥液混合槽的底部或一側下部通過藥液吸入管路連接循環泵,循環泵連接三通閥門的第一端,三通閥門的第二端通過循環管路連接藥液混合槽的頂部或一側上部;三通閥門的第三端連接藥液混合槽的混合液出口管路;

按照所需比例設定各藥液的抽液量,然后開始從各原液桶中進行抽液,藥液抽取采用等量原則,需要多少抽多少;在各路藥液供給機構中先將所抽取的藥液打入各自的暫存槽中;當某一路的流量計檢測到該路所需藥液量已經滿足要求,則該路停止抽液;當各路抽取的藥液量都滿足要求時,各原液輸送管路上的輸送泵都停止工作;然后各暫存槽對泵入的藥液量進行檢測,若發現暫存槽中的藥液量與所需藥液量存在偏差,則給出警報,要求繼續從原液桶中抽取藥液至暫存槽直至該暫存槽中藥液量等于所需藥液量;然后打開原液出口管路上的閥門,通過各暫存槽頂部的空氣進口通入壓縮空氣,壓縮空氣對暫存槽中藥液的輸送形成一個正壓力,將各暫存槽中的藥液全部送入藥液混合槽中;

當把各路暫存槽的藥液都送入藥液混合槽后,循環泵開始工作,讓藥液通過循環管路循環流動,在藥液混合槽中充分混合,充分混合后的藥液通過混合液出口管路送出。

6.一種化學藥液供給系統,其特征在于,包括:藥液混合槽和至少兩路連接藥液混合槽的藥液供給機構;

所述藥液供給機構包括原液桶、抽液管、原液輸送管路、第一輸送泵、第一流量計、暫存槽、原液出口管路、第二輸送泵、第二流量計;

原液桶中設有抽液管,抽液管的一端連接原液輸送管路一端,原液輸送管路的另一端連接暫存槽;第一輸送泵和第一流量計安裝在原液輸送管路上;暫存槽上設有用于計量暫存槽中藥液量的計量部件;暫存槽底部通過原液出口管路連接藥液混合槽;第二輸送泵和第二流量計安裝在原液出口管路上;

藥液混合槽的底部或一側下部通過藥液吸入管路連接循環泵,循環泵連接三通閥門的第一端,三通閥門的第二端通過循環管路連接藥液混合槽的頂部或一側上部;三通閥門的第三端連接藥液混合槽的混合液出口管路。

7.如權利要求6所述的化學藥液供給系統,其特征在于,

原液輸送管路的另一端連接暫存槽頂部。

8.如權利要求6所述的化學藥液供給系統,其特征在于,

在藥液混合槽旁裝有至少兩個混合槽液位傳感器,分別靠近藥液混合槽頂部和底部,用于分別監測藥液混合槽的高液位和低液位。

9.如權利要求6所述的化學藥液供給系統,其特征在于,

暫存槽下部分的橫截面小于上部分的橫截面。

10.一種化學藥液供給方法,其特征在于,通過一種化學藥液供給系統實施,

所述化學藥液供給系統包括:藥液混合槽和至少兩路連接藥液混合槽的藥液供給機構;

所述藥液供給機構包括原液桶、抽液管、原液輸送管路、第一輸送泵、第一流量計、暫存槽、原液出口管路、第二輸送泵、第二流量計;

原液桶中設有抽液管,抽液管的一端連接原液輸送管路一端,原液輸送管路的另一端連接暫存槽頂部;第一輸送泵和第一流量計安裝在原液輸送管路上;暫存槽上設有用于計量暫存槽中藥液量的計量部件;暫存槽底部通過原液出口管路連接藥液混合槽;第二輸送泵和第二流量計安裝在原液出口管路上;

藥液混合槽的底部或一側下部通過藥液吸入管路連接循環泵,循環泵連接三通閥門的第一端,三通閥門的第二端通過循環管路連接藥液混合槽的頂部或一側上部;三通閥門的第三端連接藥液混合槽的混合液出口管路;

按照所需比例設定各藥液的抽液量,然后通過第一輸送泵開始從各藥液原液桶中進行抽液,藥液抽取采取多量原則,即從原液桶中抽出的藥液量比實際所需的藥液量多,在各路藥液供給機構中從原液桶抽取的藥液打入暫存槽中;當某一路的第一流量計檢測到該路從原液桶抽取的藥液量已滿足要求即第一流量計檢測到抽取的藥液量比實際所需的藥液量多,則該路停止抽液;當各路的第一流量計檢測到抽取的藥液量均滿足要求時,各原液輸送管路上的第一輸送泵都停止工作;

然后對各暫存槽中的藥液量進行檢測,檢測各暫存槽中藥液量是否比混液實際所需的藥液量多,若藥液量不夠,則繼續通過第一輸送泵從原液桶抽液至暫存槽,直至各暫存槽中藥液量比混液實際所需的藥液量多;

然后按照實際混液所需比例設定各藥液從暫存槽的各自抽液量,然后通過第二輸送泵開始從各暫存槽中進行抽液;

當從各暫存槽中通過各第二流量計計量將所需的藥液量打入藥液混合槽后,循環泵開始工作,讓藥液通過循環管路循環流動,在藥液混合槽中充分混合,充分混合后的藥液通過混合液出口管路送出。

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