[發明專利]用于透射-電子背散射衍射的工具及衍射圖像成像方法有效
| 申請號： | 201710084967.6 | 申請日： | 2017-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN106935464B | 公開（公告）日： | 2019-05-03 |
| 發明（設計）人： | 陳忠偉;田博文;謝斌;李昊波;韓一帆;張念;褚陸嘉 | 申請（專利權）人： | 西北工業大學 |
| 主分類號： | H01J37/28 | 分類號： | H01J37/28;H01J37/20;G01N23/20;G01N23/203 |
| 代理公司： | 西北工業大學專利中心 61204 | 代理人： | 王鮮凱 |
| 地址： | 710072 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 透射 電子 散射 衍射 工具 圖像 成像 方法 | ||
1.一種用于透射-電子背散射衍射的工具，其特征在于包括垂直固定架(1)和樣品夾具(2)；垂直固定架(1)的下端設有用于固定旋轉樣品臺(3)的固定軸，下端為兩個相互垂直的第一表面(4)和第二表面(5)，第一表面(4)上設有固定螺孔，第二表面(5)上設有成孔(6)；樣品夾具(2)圓臺(8)的一端設有與成孔(6)相配的圓柱桿(7)，另一端為可拆分的上半部(10)和固定在圓臺(8)上的下半部(9)，上半部(10)通過螺釘(12)與下半部(9)固連，被測樣品由上半部(10)和下半部(9)進行夾持；所述第一表面(4)與水平面成20度角；所述第二表面(5)與水平成70度角；所述上半部(10)和下半部(9)的夾持端為兩個相交的斜面。
2.一種利用權利要求1所述用于透射-電子背散射衍射的工具進行透射-電子背散射衍射圖像成像方法，其特征在于步驟如下：
步驟1：將被測材料制備成TEM薄片，置于樣品夾具(2)的上半部(10)和下半部(9)的夾持縫隙中；
步驟2：將樣品夾具(2)固定在垂直固定架(1)上，垂直固定架(1)上固定在SEM的標準EBSD樣品臺上，使得TEM薄片與電子束呈70度；
步驟3：將EBSD探頭置于標準工作位置，調整EBSD探頭的熒光屏的頂部比標準工作位置所在平面低5mm；
步驟4：根據所測材料，選擇所施加SEM的加速電壓以及WD，獲取EBSD圖像。
3.根據權利要求2所述方法，其特征在于：所述TEM薄片采用線切割獲得厚度在1mm的薄片，后機械減薄樣品至40μm厚度，之后進行雙噴電解減薄，得到測試所需要的TEM薄片；所述雙噴電解減薄的工藝根據所測材料選擇。
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