技術領域

本發明屬于光柵測量技術領域，具體涉及一種用于檢測一組光柵之間的平行性或在光柵尺或者其它涉及到一對光柵平行性檢測的光柵平行性檢測裝置。

背景技術

在精密計量與位移控制領域，采用光柵作為基準，因其結構簡單、精度高等優點，在國際上被公認為是獲取高精度最實用、最經濟、最可靠的技術措施。光柵尺測量機構是實現這一途徑的代表性產品，被廣泛應用于各種機床、機電設備、自動化測量設備中。

光柵尺由標尺光柵與指示光柵組成，其中標尺光柵粘接在尺殼上，指示光柵粘接在讀數頭的指示光柵滑架上。指示光柵與標尺光柵產生相對運動，利用產生的莫爾條紋計算產生的相對位移。在進行光柵尺的結構安裝時，要求指示光柵與標尺光柵按一定距離平行放置，如果二者的夾角超過某個設計值，對產生的信號會有較大影響。一般在具體生產裝調環節，兩塊光柵的平行性是很難檢測的，特別是其中一塊或者兩塊光柵面積較小，且對平行性要求較高時。

現有技術中對光柵平行性檢測因光柵尺寸、距離等參數的不同并沒有現成的裝置可用，一般為了檢測兩塊光柵的平行性，可采用墊片法，或者采用接觸式測量二者的距離，從而檢測平行性。其中存在的問題是無論墊片法還是其它接觸式測量方法，無可避免的會接觸到光柵玻璃，會引起不必要的摩擦，甚至劃傷，另外當兩塊光柵面積較小或者間距較小時，就不方便檢測了。

發明內容

本發明的目的在于提出一種光柵平行性檢測裝置，解決現有技術存在的當光柵面積較小、間距較小時現有技術不便檢測以及造成摩擦劃傷的問題。通過非接觸式的測量方法，測量面積較小或者間距較小的兩塊光柵的平行性。

為實現上述目的，本發明的一種光柵平行性檢測裝置包括平行光源、反射鏡組、透鏡組、鏡座、多路鏡筒和相機；所述透鏡組固定在鏡座上，透鏡組位于反射鏡組下方，多路鏡筒位于鏡座下方，相機位于多路鏡筒下方；

待檢測的光柵B為系統基準，待檢測的光柵A置于光柵B的上方，平行光管位于光柵A和光柵B整體的下方，平行光源發出的光經光柵A和光柵B反射后再經反射鏡組反射，經反射鏡組反射的光線分別經透鏡組透射后經多路鏡筒成像在相機上。

所述反射鏡組包括四塊反射鏡，四塊反射鏡將光柵A和光柵B反射的光分成四個區域反射到透鏡組上。

所述透鏡組包括四塊透鏡，四塊透鏡分別在四塊反射鏡的反射光光軸上，四塊反射鏡的反射光分別經四塊透鏡透射。

所述多路鏡筒包括鏡筒本體、設置在鏡筒本體內部將鏡筒本體圓周分割成四個區的十字分隔板以及每個區域內軸向的分光孔；經四塊透鏡透射的透射光分別經四個分光孔入射到相機上并成像。

所述平行光源出射光線和光柵B的夾角為45°。

本發明的有益效果為：本發明的一種光柵平行性檢測裝置通過平行光源作為初始光源，經待檢測的光柵A和光柵B反射的光線經反射鏡組和透鏡組形成四路光線，把經光柵A和光柵B反射下來的光分成四個區域，并在相機上成像，實現對光柵A和光柵B平行性的檢測；本發明中的多路鏡筒采用十字分隔板進行分割，對四路光線進行物理隔絕，防止相互干擾，提高了成像的對比度，有效的解決了光柵尺裝調環境中一對光柵平行性檢測的問題，尤其解決了尺寸較小的一對光柵的平行性檢測問題。

附圖說明

圖1為本發明的一種光柵平行性檢測裝置整體結構示意圖；

圖2為本發明的一種光柵平行性檢測裝置結構主視圖；

圖3為本發明的一種光柵平行性檢測裝置的反射鏡組和透鏡組位置圖；

圖4為本發明的一種光柵平行性檢測裝置中的多路鏡筒結構示意圖；

圖5為本發明的一種光柵平行性檢測裝置中的多路鏡筒內部結構示意圖；

其中：1、平行光源，2、光柵B，3、光柵A，4、反射鏡組，401、反射鏡，5、透鏡組，501、透鏡，6、鏡座，7、多路鏡筒，701、鏡筒本體，702、十字分隔板，703、分光孔，8、相機。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明的實施方式作進一步說明。

參見附圖1和附圖2，本發明的一種光柵平行性檢測裝置包括平行光源1、反射鏡組4、透鏡組5、鏡座6、多路鏡筒7和相機8；所述透鏡組5固定在鏡座6上，透鏡組5位于反射鏡組4下方，多路鏡筒7位于鏡座6下方，相機8位于多路鏡筒7下方；

待檢測的光柵B2為系統基準，待檢測的光柵A3置于光柵B2的上方，平行光管位于光柵A3和光柵B2整體的下方，平行光源1發出的光經光柵A3和光柵B2反射后再經反射鏡組4反射，經反射鏡組4反射的光線分別經透鏡組5透射后經多路鏡筒7成像在相機8上。