[發明專利]一種光柵平行性檢測裝置有效
| 申請號: | 201611221909.5 | 申請日: | 2016-12-27 |
| 公開(公告)號: | CN106895798B | 公開(公告)日: | 2019-03-22 |
| 發明(設計)人: | 張雪鵬;王慧利;藺春波 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | G01B11/26 | 分類號: | G01B11/26 |
| 代理公司: | 長春眾邦菁華知識產權代理有限公司 22214 | 代理人: | 張偉 |
| 地址: | 130033 吉*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 光柵 平行 檢測 裝置 | ||
1.一種光柵平行性檢測裝置,其特征在于,包括平行光源(1)、反射鏡組(4)、透鏡組(5)、鏡座(6)、多路鏡筒(7)和相機(8);所述透鏡組(5)固定在鏡座(6)上,透鏡組(5)位于反射鏡組(4)下方,多路鏡筒(7)位于鏡座(6)下方,相機(8)位于多路鏡筒(7)下方;
待檢測的光柵B(2)為系統基準,待檢測的光柵A(3)置于光柵B(2)的上方,平行光管位于光柵A(3)和光柵B(2)整體的下方,平行光源(1)發出的光經光柵A(3)和光柵B(2)反射后再經反射鏡組(4)反射,經反射鏡組(4)反射的光線分別經透鏡組(5)透射后經多路鏡筒(7)成像在相機(8)上。
2.根據權利要求1所述的一種光柵平行性檢測裝置,其特征在于,所述反射鏡組(4)包括四塊反射鏡(401),四塊反射鏡(401)將光柵A(3)和光柵B(2)反射的光分成四個區域反射到透鏡組(5)上。
3.根據權利要求2所述的一種光柵平行性檢測裝置,其特征在于,所述透鏡組(5)包括四塊透鏡(501),四塊透鏡(501)分別在四塊反射鏡(401)的反射光光軸上,四塊反射鏡(401)的反射光分別經四塊透鏡(501)透射。
4.根據權利要求3所述的一種光柵平行性檢測裝置,其特征在于,所述多路鏡筒(7)包括鏡筒本體(701)、設置在鏡筒本體(701)內部將鏡筒本體(701)圓周分割成四個區的十字分隔板(702)以及每個區域內軸向的分光孔(703);經四塊透鏡(501)透射的透射光分別經四個分光孔(703)入射到相機(8)上并成像。
5.根據以上任意一項權利要求所述的一種光柵平行性檢測裝置,其特征在于,所述平行光源(1)出射光線和光柵B(2)的夾角為45°。
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