[發明專利]無氧銅表面的處理方法在審
| 申請號: | 201611007443.9 | 申請日: | 2016-11-16 |
| 公開(公告)號: | CN108070821A | 公開(公告)日: | 2018-05-25 |
| 發明(設計)人: | 于全耀;王永元;李柏霖 | 申請(專利權)人: | 中達電子零組件(吳江)有限公司 |
| 主分類號: | C23C8/42 | 分類號: | C23C8/42;C23F1/18 |
| 代理公司: | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉雙;高龍鑫 |
| 地址: | 215200 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 無氧銅 去離子水 預處理 氧化劑 氧化物層 超親水 配制 清洗 表面活性劑 堿性化合物 重量百分比 處理液中 混合溶液 強氧化劑 清洗工藝 燒結過程 無氧銅管 浸入 處理液 傳統的 結合力 散熱 鉻酸 可控 可用 銅管 溶解 | ||
一種無氧銅表面的處理方法,包括下列步驟:(1)用去離子水將酸和氧化劑按照如下重量百分比配制處理液:酸:0.1?15wt%、氧化劑:0.1?20wt%;(2)采用表面活性劑和堿性化合物的混合溶液對無氧銅表面進行預處理,再用去離子水清洗干凈;(3)將步驟(2)預處理后的無氧銅浸入步驟(1)配制的處理液中對無氧銅表面進行氧化?溶解處理,再用去離子水清洗干凈,然后干燥。處理后的無氧銅表面會產生一層銅的氧化物層,具有超親水的性質。該超親水氧化物層可以提高無氧銅管后續燒結過程中的結合力,滿足銅管后續的散熱要求。本發明可用于代替傳統的強氧化劑鉻酸對銅的清洗工藝。該工藝簡單可控,成本低廉,適合大范圍推廣。
技術領域
本發明涉及液相處理金屬表面領域,特別涉及一種散熱無氧銅表面的處理方法。
背景技術
隨著科技的進步及環保要求的提高,工業生產領域中越來越多的重污染企業得到了管控和遏制。雖然這些企業中的生產技術具有成本低、效果好的優點,但對周圍環境造成了巨大的污染。不利于企業的可持續發展,而且不符合政府的規范要求。比如手機散熱銅片的制造過程中,傳統企業采用硝酸、鉻酸等污染嚴重的強酸清洗銅管,造成這些企業排放和廢水處理方面的壓力。因此,急需一種能夠達到同樣效果的環保的銅管清洗方式。
發明專利CN200510036386.2公開了一種銅表面微刻蝕技術,該技術最終獲得的為表面光亮的銅鏡,同時也不具有超親水的性質。
發明專利CN201310530753.9雖然獲得了一種超親水的、具有微納米結構的銅表面,但該技術采用的為電化學沉積的方式,清洗操作中給員工帶來安全隱患。同時清洗后可能的殘留如硫酸銅,在后續燒結中很難去除掉,影響了產品的進一步使用及壽命。
發明專利CN201510470878.6采用的是堿處理氧化的方式處理散熱銅管,其依然會殘留少量的雜質在內壁。
發明內容
針對目前存在的問題,本發明的目的是:尋找一種無氧銅清洗處理方法,滿足無氧銅清洗后,結合力高、散熱性能穩定的要求。
本發明的另一目的是尋找一種環保型的無氧銅清洗處理方法,同時滿足無氧銅清洗后,結合力高、散熱性能穩定的要求。
為了達到上述目的,本發明提供一種無氧銅表面的處理方法,包括下列步驟:
(1)處理液的配制
用去離子水將酸和氧化劑按照如下重量百分比配制處理液:
酸:0.1-15wt%、
氧化劑:0.1-20wt%;
(2)無氧銅表面預處理
采用表面活性劑和堿性化合物的混合溶液對無氧銅表面進行預處理,再用去離子水清洗干凈;
(3)無氧銅表面氧化-溶解處理
將步驟(2)預處理后的無氧銅浸入步驟(1)配制的處理液中對無氧銅表面進行氧化-溶解處理,再用去離子水清洗干凈,然后干燥。
本發明所述的無氧銅表面的處理方法,其中:所述酸優選為鹽酸和/或濃硫酸;所述氧化劑優選為雙氧水、臭氧和次氯酸中的至少一種。
本發明所述的無氧銅表面的處理方法,其中:所述酸優選為甲酸、乙酸、檸檬酸、草酸和乳酸中的至少一種;所述氧化劑優選為雙氧水、臭氧和次氯酸中的至少一種。
本發明所述的無氧銅表面的處理方法,其中:所述處理液中,優選的是
酸的含量為0.1-4.5wt%、
氧化劑的含量為0.1-10wt%。
本發明所述的無氧銅表面的處理方法,其中:所述氧化劑的濃度優選大于等于所述酸的濃度。
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