[發明專利]無氧銅表面的處理方法在審
| 申請號： | 201611007443.9 | 申請日： | 2016-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN108070821A | 公開（公告）日： | 2018-05-25 |
| 發明（設計）人： | 于全耀;王永元;李柏霖 | 申請（專利權）人： | 中達電子零組件(吳江)有限公司 |
| 主分類號： | C23C8/42 | 分類號： | C23C8/42;C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉雙;高龍鑫 |
| 地址： | 215200 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 無氧銅 去離子水 預處理 氧化劑 氧化物層 超親水 配制 清洗 表面活性劑 堿性化合物 重量百分比 處理液中 混合溶液 強氧化劑 清洗工藝 燒結過程 無氧銅管 浸入 處理液 傳統的 結合力 散熱 鉻酸 可控 可用 銅管 溶解 | ||
1.一種無氧銅表面的處理方法，包括下列步驟：
(1)處理液的配制
用去離子水將酸和氧化劑按照如下重量百分比配制處理液：
酸：0.1-15wt％、
氧化劑：0.1-20wt％；
(2)無氧銅表面預處理
采用表面活性劑和堿性化合物的混合溶液對無氧銅表面進行預處理，再用去離子水清洗干凈；
(3)無氧銅表面氧化-溶解處理
將步驟(2)預處理后的無氧銅浸入步驟(1)配制的處理液中對無氧銅表面進行氧化-溶解處理，再用去離子水清洗干凈，然后干燥。
2.根據權利要求1所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：所述酸為鹽酸和/或濃硫酸；所述氧化劑為雙氧水、臭氧和次氯酸中的至少一種。
3.根據權利要求1所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：所述酸為甲酸、乙酸、檸檬酸、草酸和乳酸中的至少一種；所述氧化劑為雙氧水、臭氧和次氯酸中的至少一種。
4.根據權利要求1所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：所述處理液中，
酸的含量為0.1-4.5wt％、
氧化劑的含量為0.1-10wt％。
5.根據權利要求1-4任一項所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：所述氧化劑的濃度大于等于所述酸的濃度。
6.根據權利要求1-4任一項所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：所述表面活性劑為十二烷基硫酸鈉、十二烷基磺酸鈉、聚乙烯醇和C9-11鏈烷醇聚醚中的一種或幾種；所述堿性化合物為氫氧化鈉、氫氧化鉀、氨水、三苯基磷、三乙胺和三乙醇胺中的一種或幾種。
7.根據權利要求1所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：步驟(2)中所述預處理和步驟(3)中所述氧化-溶解處理分別采用超聲波、震蕩或者漂洗的方式。
8.根據權利要求1所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：步驟(3)中所述氧化-溶解處理采用的條件：溫度為10-60℃，時間為0.1min-30min。
9.根據權利要求8所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：步驟(3)中所述氧化-溶解處理采用的條件：溫度為20-40℃，時間為0.5min-10min。
10.根據權利要求3所述的無氧銅表面的處理方法，其特征在于：步驟(3)中所述氧化-溶解處理采用的條件：溫度為10-40℃，時間為0.5min-20min。
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