技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于擦拭濺射靶材的轉(zhuǎn)盤及擦拭濺射靶材的方法。

背景技術(shù)

濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高，一般要求如，尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制；較高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等。

其中，濺射靶材的表面光潔度也是一項(xiàng)十分重要的要求。需要保證在生產(chǎn)過程中，濺射靶材的表面不能有明顯的污跡。濺射靶材在加工完成后，表面非常光亮，但是會有雜質(zhì)污跡殘留在產(chǎn)品表面，在移交產(chǎn)品時需要擦拭干凈。現(xiàn)有技術(shù)中，濺射靶材的擦拭過程是完全是由人工完成的。在濺射靶材擦拭的過程中，很難要求工人做到擦拭時，嚴(yán)格按照濺射靶材的刀紋路徑進(jìn)行擦拭。因此，十分容易擦傷濺射靶材，造成不良。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是濺射靶材在加工完成后的擦拭過程中，容易擦傷，造成不良。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種用于擦拭濺射靶材的轉(zhuǎn)盤，包括：相對設(shè)置的底盤和托盤，所述底盤的盤面和所述托盤的盤面相對，所述托盤和所述底盤可轉(zhuǎn)動連接，使所述托盤能夠在所述底盤上方自轉(zhuǎn)；所述托盤的頂面為平面；彈性墊，用于設(shè)置在所述托盤的頂面；第一凈化布，用于設(shè)置在所述彈性墊的上表面。

可選的，所述轉(zhuǎn)盤還包括軸承，所述軸承包括同心的內(nèi)圈和外圈，所述內(nèi)圈與外圈能夠相對轉(zhuǎn)動；所述軸承設(shè)于所述底盤和托盤之間，所述底盤和所述托盤其中之一與所述內(nèi)圈固定連接，另一與所述外圈固定連接以實(shí)現(xiàn)所 述可轉(zhuǎn)動連接。

可選的，所述底盤具有凸起，所述托盤具有凹槽，所述凸起能夠插入所述凹槽中，使得所述托盤能夠以所述凹槽為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；或，所述底盤具有凹槽，所述托盤具有凸起，所述凸起能夠插入所述凹槽中，使得所述托盤能夠以所述凸起為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

可選的，所述托盤為圓盤，所述托盤圍繞其圓心進(jìn)行自轉(zhuǎn)。

可選的，所述托盤的材料為鋁合金材料。

可選的，所述彈性墊的頂面和底面均為平面，所述彈性墊的厚度在10mm—15mm之間。

可選的，所述第一凈化布的材料為聚酯纖維。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供一種使用上述轉(zhuǎn)盤擦拭濺射靶材的方法，包括將所述彈性墊設(shè)置在所述托盤的頂面，將所述第一凈化布設(shè)置在所述彈性墊的上表面；將需要擦拭的濺射靶材放置在所述第一凈化布上，并使濺射靶材的中心對準(zhǔn)所述托盤的自轉(zhuǎn)中心，所述濺射靶材的頂面為需要擦拭的面；旋轉(zhuǎn)所述托盤帶動濺射靶材進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并用第二凈化布與所述濺射靶材的頂面相貼，利用第二凈化布與濺射靶材的相對轉(zhuǎn)動擦拭所述濺射靶材的頂面；控制所述第二凈化布，使所述第二凈化布在所述濺射靶材的旋轉(zhuǎn)中心位置和邊緣位置之間移動。

可選的，所述第二凈化布的材料為聚酯纖維。

可選的，旋轉(zhuǎn)所述托盤的角速度在20r/min—40r/min之間。

可選的，所述第二凈化布與所述濺射靶材的頂面之間的貼合壓力在0.3N—1.0N之間。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本技術(shù)方案的用于擦拭濺射靶材的轉(zhuǎn)盤，包括底盤、托盤、彈性墊和第一凈化布，底盤的盤面和托盤的盤面相對設(shè)置，且托盤和底盤可轉(zhuǎn)動連接，使托盤能夠在底盤上方自轉(zhuǎn)，彈性墊用于設(shè)置在托盤的頂面，第一凈化布用于設(shè)置在彈性墊的上表面。當(dāng)需要擦拭濺射靶材時，將濺射靶材放置在第一 凈化布上；然后旋轉(zhuǎn)托盤帶動濺射靶材旋轉(zhuǎn)，并控制另一個第二凈化布與濺射靶材的頂面相貼，利用第二凈化布與濺射靶材的相對轉(zhuǎn)動擦拭濺射靶材的頂面。由于在濺射靶材加工成型的過程中，其表面的刀紋路徑是旋轉(zhuǎn)的；因此，在濺射靶材旋轉(zhuǎn)的過程中，能夠更加容易的順著濺射靶材的刀紋路徑擦拭其表面，從而不易擦花濺射靶材的表面。

附圖說明

圖1是本發(fā)明具體實(shí)施例的轉(zhuǎn)盤結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明具體實(shí)施例的托盤立體結(jié)構(gòu)圖；

圖3是本發(fā)明具體實(shí)施例的底盤立體結(jié)構(gòu)圖；

圖4是本發(fā)明具體實(shí)施例的軸承結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說明。