[實用新型]一種用于直寫式光刻機PCB板的卷對卷粘塵裝置有效
| 申請號: | 201520765067.4 | 申請日: | 2015-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN205074297U | 公開(公告)日: | 2016-03-09 |
| 發明(設計)人: | 曹常瑜 | 申請(專利權)人: | 合肥芯碁微電子裝備有限公司 |
| 主分類號: | B08B7/00 | 分類號: | B08B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司: | 合肥天明專利事務所 34115 | 代理人: | 宋倩;奚華保 |
| 地址: | 230088 安徽省合肥市高新區*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 直寫式 光刻 pcb 卷粘塵 裝置 | ||
1.一種用于直寫式光刻機PCB板的卷對卷粘塵裝置,其特征在于:包括固定在機臺上的兩個上支架和兩個下支架,所述上支架位于下支架的上方;所述兩個上支架之間架設有兩根相互平行的轉軸,其中一根轉軸上可拆卸地固定裝設有第一粘膜芯,另一根轉軸與驅動電機連接,其上可拆卸地固定裝設有第二粘膜芯;所述第一粘膜芯上卷設有干凈粘膜,所述第二粘膜芯為空白粘膜芯,用于收卷臟污粘膜;
所述兩個下支架之間安裝有一根第一粘棒和兩根第二粘棒,所述第一粘棒緊壓設置在兩根第二粘棒上,所述兩根第二粘棒緊壓設置在吸盤墊板上;所述第一粘膜芯上的干凈粘膜的自由端從第一粘棒與兩根第二粘棒之間穿過并卷設到第二粘膜芯上,所述第一粘膜芯在第二粘膜芯的帶動下轉動;所述兩根第二粘棒在PCB板的帶動下轉動,所述PCB板進入曝光區域時,從兩根第二粘棒與吸盤墊板之間穿過。
2.根據權利要求1所述的用于直寫式光刻機PCB板的卷對卷粘塵裝置,其特征在于:所述兩根相互平行的轉軸位于同一水平面上,且轉軸中心線與PCB板的移動方向相互垂直。
3.根據權利要求1所述的用于直寫式光刻機PCB板的卷對卷粘塵裝置,其特征在于:所述第一粘棒和第二粘棒的長度相同,且第一粘棒的半徑大于第二粘棒的半徑。
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