1.一種間接水冷行星傳動工作臺，包括驅動組件（1）、傳動組件（2）和行星轉動座（3），所述行星轉動座（3）上周向裝設有多根行星軸（4），各行星軸（4）上均裝設有基片臺（5），其特征在于：所述行星轉動座（3）上裝設有通水軸（6），所述通水軸（6）開設有通水腔（61），所述通水腔（61）內插設有延伸至真空腔外部的進水管（7），所述通水軸（6）連接有與通水腔（61）相通并延伸至真空腔外部的出水管（8），所述行星轉動座（3）于各基片臺（5）位置開設與進水管（7）和出水管（8）相通的水道（31）。

2.根據權利要求1所述的間接水冷行星傳動工作臺，其特征在于：所述行星轉動座（3）的各水道（31）相互連通。

3.根據權利要求2所述的間接水冷行星傳動工作臺，其特征在于：所述通水腔（61）與進水管（7）之間設有出水間隙（62），所述出水間隙（62）與水道（31）的出水端相連，所述進水管（7）與水道（31）的進水端相連。

4.根據權利要求2所述的間接水冷行星傳動工作臺，其特征在于：所述通水軸（6）裝設于行星轉動座（3）的中心位置。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的間接水冷行星傳動工作臺，其特征在于：所述通水軸（6）上套裝有密封圈（9），所述密封圈（9）分設于水道（31）進出水端兩側。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的間接水冷行星傳動工作臺，其特征在于：所述基片臺（5）與行星轉動座（3）之間夾設有石墨導熱環（10），所述石墨導熱環（10）套裝于行星軸（4）上。

7.根據權利要求5所述的間接水冷行星傳動工作臺，其特征在于：所述基片臺（5）與行星轉動座（3）之間夾設有石墨導熱環（10），所述石墨導熱環（10）套裝于行星軸（4）上。