本發明公開了一種背電極及其制作方法和電池組件。該背電極包括：第一透明導電氧化物層，其中，第一透明導電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，在薄膜材料層中，金屬元素的摻雜濃度為0.5％～3.0％。通過本發明，解決了相關技術中透明背電極的非晶硅薄膜電池組件不能在具有較高的發電效率同時又能具備較好的紅光透光性的問題。

技術領域

本發明涉及太陽能光伏電池技術領域，具體而言，涉及一種背電極及其制作方法和電池組件。

背景技術

非晶硅薄膜太陽能電池在短波可見光波段有很強的吸收率，在紅光波段吸收較弱，普通的電池組件中，為提高紅光波段的吸收，一般會在電池片背面鍍上高反射率的背電極來增強紅光的吸收。在農業溫室大棚中，作物的生長對紅光波段有很強的依賴性，具體地，在溫室頂棚安裝的太陽能電池板需要有足夠紅光段透射率，來滿足作物的正常生長。因此，采用透明背電極的非晶硅薄膜組件，對紅光波段選擇性透過，適宜于安裝在溫室屋頂，在發電的同時滿足農作物的生長需求。

由于透明導電氧化物(TCO)電導率偏低，阻礙載流子在電極內的平行收集，因此電池的填充因子偏低。金屬的電導率很高，但紅光透光性很差。因此，現有技術中透明背電極的非晶硅薄膜組件不能在具有較高的發電效率同時又能具備較好的紅光透光性。

針對相關技術中透明背電極的非晶硅薄膜電池組件不能在具有較高的發電效率同時又能具備較好的紅光透光性的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種背電極及其制作方法和電池組件，以解決相關技術中透明背電極的非晶硅薄膜電池組件不能在具有較高的發電效率同時又能具備較好的紅光透光性的問題。

為了實現上述目的，根據本發明的一個方面，提供了一種背電極，包括：第一透明導電氧化物層，其中，第一透明導電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，在薄膜材料層中，金屬元素的摻雜濃度為0.5％～3.0％。

進一步地，第一透明導電氧化物層的厚度范圍為10nm～300nm。

進一步地，摻雜的金屬元素為鋁或鎵或硼。

進一步地，第一透明導電氧化物層為摻雜有鉛的氧化鋅層。

進一步地，該背電極還包括：金屬層，第一面與第一透明導電氧化物層貼合設置，其中，金屬層的厚度范圍為3nm～20nm。

進一步地，金屬層的材料為銀或鋁。

進一步地，該背電極還包括：第二透明導電氧化物層，與金屬層的第二面貼合設置，其中，第二透明導電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，在薄膜材料層中，金屬元素的摻雜濃度為0.5％～3.0％。

進一步地，第二透明導電氧化物層的厚度范圍為10nm～300nm。

為了實現上述目的，根據本發明的另一方面，提供了一種背電極的制作方法，該背電極包括：第一透明導電氧化物層，其中，第一透明導電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，在薄膜材料層中，金屬元素的摻雜濃度為0.5％～3.0％；金屬層，第一面與第一透明導電氧化物層貼合設置，其中，金屬層的厚度范圍為3nm～20nm；以及第二透明導電氧化物層，與金屬層的第二面貼合設置，其中，第二透明導電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，在薄膜材料層中，金屬元素的摻雜濃度為0.5％～3.0％，該制作方法包括：在硅薄膜吸收層上沉積第一透明導電氧化物層，硅薄膜為需要沉積生長背電極的太陽能電池的硅薄膜；在第一透明導電氧化物層上沉積金屬層；以及在金屬層上沉積第二透明導電氧化物層。