6.一種背電極的制作方法，其特征在于，所述背電極包括：

第一透明導電氧化物層，其中，所述第一透明導電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，在所述薄膜材料層中，所述金屬元素的摻雜濃度為0.5％～3.0％，其中，所述第一透明導電氧化物層為摻雜有鉛的氧化鋅層，所述摻雜有鉛的氧化鋅層中摻雜有濃度為0.5％～3.0％的金屬元素；

金屬層，第一面與所述第一透明導電氧化物層貼合設置，其中，所述金屬層的厚度范圍為3nm～20nm；以及

第二透明導電氧化物層，與所述金屬層的第二面貼合設置，其中，所述第二透明導電氧化物層為摻雜有金屬元素的薄膜材料層，在所述薄膜材料層中，所述金屬元素的摻雜濃度為0.5％～3.0％，其中，所述第二透明導電氧化物層通過PVD沉積在金屬層表面，其中，在背電極為300nm氧化鋅組成的電池組件的輸出功率為49.5W的情況下，填充因子為0.592；

所述制作方法包括：

在硅薄膜吸收層上沉積所述第一透明導電氧化物層，其中，所述硅薄膜為需要沉積生長背電極的太陽能電池的硅薄膜；

在所述第一透明導電氧化物層上沉積所述金屬層；以及

在所述金屬層上沉積所述第二透明導電氧化物層，

其中，通過變化氧化鋅摻雜金屬元素的濃度，調節電池組件的發電功率和光透過率，氧化鋅摻雜金屬元素的濃度為0.5％時，填充因子為0.657，在500nm～800nm的波長范圍下透過率為19.2％，在660nm的波長范圍下透過率為21.3％；氧化鋅摻雜金屬元素的濃度為1.5％時，填充因子為0.679，在500nm～800nm的波長范圍下透過率為17.2％，在660nm的波長范圍下透過率為19.0％；氧化鋅摻雜金屬元素的濃度為3.0％時，填充因子為0.717，在500nm～800nm的波長范圍下透過率為14.3％，在660nm的波長范圍下透過率為25.6％，

其中，通過變化所述背電極的厚度，調節電池組件的發電功率和光透過率。