[發明專利]一種藍寶石攝像頭窗口片的生產方法有效
| 申請號: | 201510339527.1 | 申請日: | 2015-06-18 |
| 公開(公告)號: | CN105141812B | 公開(公告)日: | 2022-02-11 |
| 發明(設計)人: | 蘇鳳堅;劉俊;郝正平 | 申請(專利權)人: | 重慶新知創科技有限公司 |
| 主分類號: | H04N5/225 | 分類號: | H04N5/225;B24B37/00;B24B29/02;B24B1/00 |
| 代理公司: | 北京投知圈知識產權代理事務所(普通合伙) 16064 | 代理人: | 陳衛 |
| 地址: | 400000 重*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 藍寶石 攝像頭 窗口 生產 方法 | ||
1.一種藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于,包括以下具體步驟:
步驟一、晶體掏棒;取A向、M向或C向的藍寶石晶體,然后使用掏棒機進行掏棒,從而得到晶棒;
步驟二、晶體切割;采用金剛砂線切割設備對晶棒進行切割,從而得到晶片;
步驟三、研磨;采用研磨機對晶片進行研磨;研磨時,加入研磨液,研磨盤對晶片加壓至0.02~0.022Mpa,研磨盤的轉速為1000~1200r/min;研磨完成后用無水乙醇清洗;所述研磨液組分包括:0.5~2%的顆粒大小為10~20μm的立方氮化硼粉末,14~16%的烷基酚聚氧乙烯醚,4~6%的甘油,9~11%的聚丙二醇400,其余為去離子水;對研磨液進行拌;
步驟四、倒角;采用數控機床的金剛石砂輪對晶片的邊角進行倒角處理;
步驟五、退火;將晶片放入退火爐內,以180~220℃/h的速度進行升溫將溫度升至1600℃,升溫時在300℃、800℃、1600℃分別保溫2~6h,然后以200℃/h的速度進行降溫,降溫時在1000℃、500℃分別保溫2~3h冷卻至室溫取出;
步驟六、雙面化學拋光;先用無水乙醇對晶片進行清洗,然后將清洗后的晶片放入雙面拋光機中固定;拋光時,加入拋光液,拋光盤對晶片加壓至0.12~0.15Mpa,拋光盤的轉速為1000~1500r/min、將拋光好的晶片用無水乙醇清洗后,在室溫下進行自然冷卻;所述拋光液組分包括:0.5~2%的顆粒大小為1~6μm的立方氮化硼粉末,14~16%的烷基酚聚氧乙烯醚,4~6%的甘油,9~11%的聚丙二醇400,0.5~2%的納米二氧化硅,使得拋光液PH值為11.0~13.0的堿性溶液,其余為去離子水;拋光過程中不斷補充堿性溶液以保持拋光液的PH值;
步驟七、激光取片;將拋光后的晶片放入激光切割機中并通入保護氣體,將晶片按需求切割成相應大小;
步驟八、鍍膜;采用光學真空鍍膜機對晶片的正反兩面鍍抗反射膜,抗反射膜由低折射率氧化物和高折射率氧化物逐層鍍覆而成且層數為4~8層,最靠近晶片的一層采用低折射率氧化物,所述低折射率氧化物是硅或鋁的氧化物,所述高折射率氧化物是鈦或鉭的氧化物;
步驟九、涂油墨;將鍍膜后的晶片蓋上鏤空板,在晶片的邊緣處刷涂油墨且重復刷涂三層;
步驟十、熱烘;將涂完油墨的晶片放入熱烘機中熱烘2~3h后,空冷至室溫。
2.根據權利要求1所述藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于:所述步驟二中,金剛砂線的直徑為0.14~0.16mm,金剛砂線上金剛石的粒徑為30~40μm,金剛砂線在切割時以12~15m/s的速度運動,晶體相對于金剛砂線的移動速度為0.2~0.3mm/min,切割時不斷向金剛砂線噴灑切割液,所述切割液中含有粒徑為20~30μm的金剛石顆粒和粒徑為50~60μm的剛玉顆粒。
3.根據權利要求1所述藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于:所述步驟三中,所述研磨液中含有粒徑為3~6μm的氧化鋁顆粒。
4.根據權利要求1所述藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于:所述步驟五中,升溫時,在300℃保溫2h,在800℃保溫3h,在1600℃保溫4h。
5.根據權利要求1所述藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于:所述步驟六中,所述堿性溶液為KOH。
6.根據權利要求1所述藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于:所述步驟六中,所述拋光液PH值為12.0。
7.根據權利要求1所述藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于:所述步驟六中,拋光盤對晶片加壓至0.135Mpa。
8.根據權利要求1所述藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于:所述步驟七中,激光束的直徑為0.015~0.02mm,切割速度為3~5mm/s。
9.根據權利要求1所述藍寶石攝像頭窗口片的生產方法,其特征在于:所述步驟八中,所述光學真空鍍膜機,采用離子源產生電子光束,先將低折射率氧化物或高折射率氧化物液化后凝固進行預熔,再將凝固后的低折射率氧化物或高折射率氧化物氣化噴射到晶面上形成膜。
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