1.一種用于離子源的柵網裝置，包括加速法蘭（1）和抑制法蘭（3）；所述加速法蘭（1）和抑制法蘭（3）內分別安裝有加速柵網（2）和抑制柵網（4）；其特征在于，所述加速法蘭（1）設置在所述抑制法蘭（3）上方，且所述加速法蘭（1）通過連接桿（5）與所述抑制法蘭（3）連接成一體結構；所述加速柵網（2）的網格與所述抑制柵網（4）的網格一一對應；所述抑制法蘭（4）圓周部分開設有用于將所述抑制法蘭（4）安裝于離子源放電室上的安裝孔（13）。

2.根據權利要求1所述的用于離子源的柵網裝置，其特征在于，所述加速法蘭（1）圓周部分開設有與所述安裝孔（13）位置對應的缺口（12）。

3.根據權利要求1或2所述的用于離子源的柵網裝置，其特征在于，所述加速法蘭（1）和抑制法蘭（3）圓周部分均開設有定位銷孔（11）。

4.根據權利要求3所述的用于離子源的柵網裝置，其特征在于，所述連接桿（5）與所述加速法蘭（1）、抑制法蘭（3）之間設有絕緣件（6）。