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[發(fā)明專利]封裝基板的阻焊制作方法在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201410606048.7 申請(qǐng)日: 2014-10-31
公開(公告)號(hào): CN104392934A 公開(公告)日: 2015-03-04
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 宋陽 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司
主分類號(hào): H01L21/48 分類號(hào): H01L21/48
代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32104 代理人: 曹祖良
地址: 214135 江蘇省無錫市新區(qū)*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 封裝 制作方法
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

發(fā)明涉及基板封裝領(lǐng)域,尤其是一種封裝基板的阻焊制作方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的基板阻焊技術(shù)大部分都是用液態(tài)油墨材料來制作阻焊,由于液態(tài)油墨在加工過程中受基板線路圖形、油墨特性等影響,會(huì)產(chǎn)生漏印、油墨厚度不均勻等問題。對(duì)于阻焊開窗尺寸小、開窗對(duì)位精度要求高的基板,液態(tài)油墨在進(jìn)行曝光、顯影等工藝都難以控制加工精度,對(duì)于阻焊開窗尺寸小于80um的基板,若用液態(tài)油墨加工,會(huì)產(chǎn)生曝光不良,顯影不凈等影響。從而影響后續(xù)的制作。

由于現(xiàn)在基板的封裝密度、封裝精度越來越高,致使基板的焊盤尺寸、線條寬度變的越來越小;當(dāng)封裝基板的焊盤、線條寬度越來越小時(shí),對(duì)于阻焊開窗的對(duì)位精度、阻焊開窗尺寸的要求越來越高,這對(duì)傳統(tǒng)用液態(tài)油墨制作阻焊工藝帶來了極大地限制。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種封裝基板的阻焊制作方法,通過運(yùn)用干膜型阻焊劑以及UV激光加工方法,能夠高質(zhì)量的完成基板的阻焊制作,特別是開窗尺寸小、開窗對(duì)位精度要求高的板件;在加工過程中,本發(fā)明方法能夠完全與現(xiàn)有的基板工藝技術(shù)相兼容,不需要對(duì)常規(guī)的基板工藝做過多的改進(jìn),且工藝相容性好,非常適合阻焊開窗尺寸小、開窗對(duì)位精度要求高的的基板的加工,而且省去了阻焊顯影工序的工作,提高了加工的效率。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:

一種封裝基板的阻焊制作方法,包括下述步驟:

步驟一,對(duì)基板的表面和基板表面的線路圖形進(jìn)行粗化處理;

步驟二,在基板表面壓合阻焊干膜;

步驟三,對(duì)壓合阻焊干膜后的基板進(jìn)行固化處理;

步驟四,制作阻焊開窗的圖形資料;

步驟五,根據(jù)阻焊開窗圖形資料的阻焊開窗尺寸、干膜厚度、阻焊干膜固化后的硬度進(jìn)行調(diào)整激光器的加工參數(shù),用激光器對(duì)阻焊開窗區(qū)域進(jìn)行開窗處理;

步驟六,對(duì)激光加工阻焊開窗區(qū)域的殘留物、開窗后線路圖形的露出部位進(jìn)行清潔處理。

進(jìn)一步地,步驟一中采用前處理藥液進(jìn)行粗化處理。

進(jìn)一步地,步驟二中,阻焊干膜的材料采用日本TAIYO公司的AUS410;用真空壓膜機(jī)進(jìn)行壓合阻焊干膜。

進(jìn)一步地,步驟五中,采用的激光器是UV激光器。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:

1)本發(fā)明的實(shí)施工藝基于有機(jī)基板的工藝方法和材料開展的,縮減了阻焊顯影工序的工作,提高了加工效率,能夠滿足基板的阻焊工藝可靠性等要求。

2)該技術(shù)方案對(duì)于封裝基板的小尺寸阻焊開窗、對(duì)位精度帶來了很大的技術(shù)提升。

3)此方案的阻焊加工工藝和PCB工藝相兼容,不需要新的設(shè)備和工藝就可以實(shí)現(xiàn),更適應(yīng)于該技術(shù)在基板量產(chǎn)廠商的推廣和大規(guī)模量產(chǎn)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的基板及外層線路圖形示意圖。

圖2為本發(fā)明的真空壓合阻焊干膜示意圖。

圖3為本發(fā)明的激光掃阻焊開窗示意圖。

圖4為本發(fā)明的阻焊開窗區(qū)域示意圖。

圖5為本發(fā)明的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

圖1中,待處理的基板1正面和背面都加工好了線路圖形2。封裝基板的阻焊制作方法包括下述步驟:

步驟一,對(duì)基板1的表面和基板1表面的線路圖形2進(jìn)行粗化處理;

此步驟中,具體可采用前處理藥液對(duì)基板1表面線路圖形進(jìn)行粗化處理,目的是提高基板與阻焊干膜的結(jié)合力。前處理藥液可采用日本EBARA公司的“Ebachem?Neo?Brown”NBD?II型藥液。

步驟二,在基板1表面壓合阻焊干膜3;

因?yàn)楸纠校?的正面和背面都有線路圖形,因此,如圖2所示,在基板1的正面和背面都?jí)汉献韬父赡?;阻焊干膜3的材料采用日本TAIYO公司的AUS410。為保證阻焊干膜3的平整度,此步驟需要用真空壓膜機(jī)進(jìn)行壓合,根據(jù)基板厚度、阻焊干膜的厚度進(jìn)行調(diào)整真空壓膜的參數(shù)。

步驟三,對(duì)壓合阻焊干膜3后的基板1進(jìn)行固化處理;

此步驟的固化可在烤箱中加溫固化,或者采用UV固化(UV:紫外線的簡稱,UV固化即利用紫外線照射固化)。

步驟四,制作阻焊開窗4的圖形資料;

阻焊開窗4的圖形資料表明了基板1上哪些區(qū)域需要進(jìn)行開窗,比如焊盤所在位置;

步驟五,根據(jù)阻焊開窗4圖形資料的阻焊開窗尺寸、干膜厚度、阻焊干膜固化后的硬度進(jìn)行調(diào)整激光器的加工參數(shù),用激光器對(duì)阻焊開窗4區(qū)域進(jìn)行開窗處理;

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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