技術領域

?本發明涉及半導體工藝中硅片的擴散設備，具體地說是一種結構簡單、操作方便且密封性好用于密封石英管的改進型石英管帽。

背景技術

在現有工藝上，一般采用有磨口的石英帽密封石英管，現有技術中的石英管帽和密封石英管時的結構示意圖如附圖1所示，該石英管帽包括石英管帽本體1、石英手把2和出氣孔3，石英管帽本體1靠其自身內壁上的磨口與石英管4的端部外壁上的磨口相互嚙合在一起，實現石英管4的密封和石英管帽本體1的固定，石英管帽本體1的背側設有石英手把2且石英手把2旁側的石英管帽本體1上設有出氣孔3。該石英管帽在使用時，當使用到生成偏磷酸的擴散石英管上的時候，生成的偏磷酸使石英管與石英管帽粘結在一起，管帽取不下來；且平時石英管帽和石英管4的分離也相對麻煩。

發明內容

本發明的目的是針對現有石英管帽存在的缺陷，提供一種結構簡單、操作方便且密封性好用于密封石英管的改進型石英管帽。

本發明的目的是通過以下技術方案解決的：

一種用于密封石英管的改進型石英管帽，包括石英管帽本體，石英管帽本體上的外表面上設有石英手把，其特征在于所述石英管帽本體的內表面呈平面狀態使得石英管帽本體的內表面與石英管的管口平面全接觸；所述的石英手把上設有壓緊彈簧，該壓緊彈簧使得石英管帽本體的內表面與石英管的管口平面相互貼合。

所述的石英管帽本體呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本體中的立面與石英管的管口平面相互貼合。

所述的石英管帽本體上設有出氣孔。

所述的出氣孔位于石英管帽本體的立面上。

所述的石英管帽本體和石英手把采用純石英制成。

本發明相比現有技術有如下優點：

本發明通過將石英管帽與石英管的接觸方式改為平面接觸，并采用壓緊彈簧將石英管帽壓緊在石英管的端面上起到密封作用，石英管帽與石英管接觸處無磨口、平整無漏氣且完全接觸，使得石英管帽與石英管的分離更容易；該石英管帽具有結構簡單、操作方便且密封性好的特點，提高了工作效率，適宜在半導體硅片生產中推廣使用。

附圖說明

附圖1為現有技術中的石英管帽和密封石英管時的截面結構示意圖；

附圖2為本發明的石英管帽和密封石英管時的截面結構示意圖。

其中：1—石英管帽本體；2—石英手把；3—出氣孔；4—石英管；5—壓緊彈簧。

具體實施方式

下面結合附圖與實施例對本發明作進一步的說明。

如圖2所示：一種用于密封石英管的改進型石英管帽，包括石英管帽本體1，石英管帽本體1上的外表面上設有石英手把2，石英管帽本體1和石英手把2采用純石英制成，該石英管帽本體1的內表面呈平面狀態使得石英管帽本體1的內表面與石英管4的管口平面全接觸，石英手把2上設有壓緊彈簧5，該壓緊彈簧5使得石英管帽本體1的內表面與石英管4的管口平面相互貼合；具體地說石英管帽本體1呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本體1中的立面與石英管4的管口平面相互貼合。另外在石英管帽本體1上設有出氣孔3，該出氣孔3位于石英管帽本體1的立面上。

本發明的改進型石英管帽使用時，將石英管帽本體1的立面與石英管4的管口平面相互貼合，然后定位壓緊彈簧5，使得石英管帽本體1的內表面緊密貼合在石英管4的管口平面上，起到密封作用；當該改進型石英管帽不使用時，解除壓緊彈簧5的定位，即可將該改進型石英管帽從石英管4的管口取下。

本發明通過將石英管帽與石英管4的接觸方式改為平面接觸，并采用壓緊彈簧將石英管帽壓緊在石英管4的端面上起到密封作用，石英管帽與石英管4接觸處無磨口、平整無漏氣且完全接觸，使得石英管帽與石英管4的分離更容易；該石英管帽具有結構簡單、操作方便且密封性好的特點，提高了工作效率，適宜在半導體硅片生產中推廣使用。

以上實施例僅為說明本發明的技術思想，不能以此限定本發明的保護范圍，凡是按照本發明提出的技術思想，在技術方案基礎上所做的任何改動，均落入本發明保護范圍之內；本發明未涉及的技術均可通過現有技術加以實現。