[發明專利]一種用于密封石英管的改進型石英管帽無效

申請號：	201410099823.4	申請日：	2014-03-18
公開（公告）號：	CN103915366A	公開（公告）日：	2014-07-09
發明（設計）人：	左亞兵;王鈺庭;周敏華	申請（專利權）人：	宜興市環洲微電子有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673
代理公司：	南京天華專利代理有限責任公司 32218	代理人：	徐冬濤
地址：	214200 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于密封石英管改進型
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【權利要求書】：

1.一種用于密封石英管的改進型石英管帽，包括石英管帽本體（1），石英管帽本體（1）上的外表面上設有石英手把（2），其特征在于所述石英管帽本體（1）的內表面呈平面狀態使得石英管帽本體（1）的內表面與石英管（4）的管口平面全接觸；所述的石英手把（2）上設有壓緊彈簧（5），該壓緊彈簧（5）使得石英管帽本體（1）的內表面與石英管（4）的管口平面相互貼合。

2.根據權利要求1所述的用于密封石英管的改進型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本體（1）呈“匚”字形，“匚”字形的石英管帽本體（1）中的立面與石英管（4）的管口平面相互貼合。

3.根據權利要求1或2所述的用于密封石英管的改進型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本體（1）上設有出氣孔（3）。

4.根據權利要求3所述的用于密封石英管的改進型石英管帽，其特征在于所述的出氣孔（3）位于石英管帽本體（1）的立面上。

5.根據權利要求1所述的用于密封石英管的改進型石英管帽，其特征在于所述的石英管帽本體（1）和石英手把（2）采用純石英制成。

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