本申請以日本專利申請2013-059184（申請日：03/21/2013）為基礎(chǔ)，從該申請享受優(yōu)先權(quán)利益。本申請通過參照該申請包含該申請的全部內(nèi)容。

技術(shù)領(lǐng)域

后述實(shí)施形態(tài)大概涉及加工夾具、加工裝置及加工方法。

背景技術(shù)

在電子元件或精密加工零件等機(jī)械加工中，有時進(jìn)行要求高的加工精度的溝槽加工。

在要求高的加工精度的溝槽加工中，有必要準(zhǔn)確地知道刀片的刀尖位置。

因此，提出過設(shè)置光學(xué)地檢測刀片的刀尖位置的檢測部，在機(jī)械加工過程中隨時檢測刀片的刀尖位置的技術(shù)。

但是，在加工物與加工裝置的保持部之間設(shè)置粘接帶或加工夾具等的情況下，存在粘接帶或加工夾具等的厚度尺寸的偏差成為加工后的溝槽的深度尺寸的誤差的原因的擔(dān)憂。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明想要解決的問題就是要提供一種能夠提高加工精度的加工夾具、加工裝置及加工方法。

實(shí)施形態(tài)的加工夾具具備：基部，在一個面上具有保持加工物的區(qū)域；檢測部，具備具有導(dǎo)電性、設(shè)置在保持上述加工物的區(qū)域的周邊的連接部，以及分別連接在上述連接部兩端的布線部。

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的加工夾具、加工裝置及加工方法，能夠提供能夠提高加工精度的加工夾具、加工裝置以及加工方法。

附圖說明

圖1為用來舉例說明第1實(shí)施形態(tài)的加工夾具1的示意圖；

圖2（a）、（b）為圖1中的A-A線剖視圖；

圖3為用來舉例說明檢測部3的其他配設(shè)形態(tài)的示意圖；

圖4為用來舉例說明絕緣層4的其他配設(shè)形態(tài)的示意圖；

圖5為用來舉例說明第2實(shí)施形態(tài)的加工夾具11的示意圖；

圖6為用來舉例說明加工裝置50的示意圖；

圖7為用來舉例說明刀片53b在Z方向移動量的修正的示意圖；

圖8為用來舉例說明溝槽加工中的誤差要因的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面參照附圖舉例說明實(shí)施形態(tài)。

另外，在各附圖中，同樣的構(gòu)成要素添加相同的附圖標(biāo)記，詳細(xì)的說明適當(dāng)省略。并且，各圖中箭頭X、Y、Z表示互相正交的三個方向。例如，箭頭X、Y表示與基部2的面2a平行的方向，Z表示與基部2的面2a垂直的方向。

[第1實(shí)施形態(tài)]

圖1為用來舉例說明第1實(shí)施形態(tài)的加工夾具1的示意圖。

圖2（a）、（b）為圖1中的A-A線剖視圖。

圖3為用來舉例說明檢測部3的其他配設(shè)形態(tài)的示意圖。

圖4為用來舉例說明絕緣層4的其他配設(shè)形態(tài)的示意圖。

如圖1所示，在加工夾具1上設(shè)置有基部2和檢測部3。

基部2呈板狀。在基部2的一側(cè)設(shè)置有面2a。并且，在面2a的中央部分設(shè)置有保持加工物的保持區(qū)域2c。基部2的與保持區(qū)域2c相反一側(cè)的面2b成為保持在后述加工裝置50的保持部52上的面。

基部2的外形尺寸和形狀沒有特別限制，能夠根據(jù)被保持的加工物100的大小和形狀適當(dāng)變更。

在基部2的保持區(qū)域2c中能夠設(shè)置保持加工物100的裝置。

例如，能夠在保持區(qū)域2c設(shè)置貫穿基部2的厚度方向（Z方向）的孔，使用真空泵等通過孔吸附保持加工物100。這種情況下，也可以用多孔質(zhì)材料形成基部2的保持區(qū)域2c的部分。

并且，也可以在基部2的內(nèi)部設(shè)置電極，利用靜電力吸附保持加工物100。

并且，還可以在基部2的保持區(qū)域2c設(shè)置粘接層，利用粘接力保持加工物100。

并且，也可以用玻璃等透光性材料形成基部2，用通過紫外線照射容易剝離的粘接劑固定基部2的保持區(qū)域2c和加工物100。

另外，保持加工物100的裝置并不局限于舉例說明過的裝置，能夠適當(dāng)變更。

如圖2（a）所示，在檢測部3與基部2之間沒有設(shè)置絕緣層4的情況下，基部2用絕緣性材料形成。這種情況下，優(yōu)選使用尺寸穩(wěn)定性高的絕緣性材料。作為尺寸穩(wěn)定性高的絕緣性材料，能夠列舉例如玻璃、陶瓷等。

如圖2（b）所示，在在檢測部3與基部2之間設(shè)置了絕緣層4的情況下，基部2的材料沒有特別限制。但是，優(yōu)選使用尺寸穩(wěn)定性高的材料。作為尺寸穩(wěn)定性高的材料，能夠列舉金屬、玻璃、陶瓷等。

檢測部3檢測后述的刀片（旋轉(zhuǎn)刃）53b的刀尖在Z方向（加工物100的厚度方向）上的位置。

檢測部3具有設(shè)置在保持區(qū)域2c周邊的連接部3a以及分別連接在連接部3a兩端的2個布線部3b。