[發明專利]加工夾具、加工裝置及加工方法有效
| 申請號: | 201410071820.X | 申請日: | 2014-02-28 |
| 公開(公告)號: | CN104057547A | 公開(公告)日: | 2014-09-24 |
| 發明(設計)人: | 須藤正昭 | 申請(專利權)人: | 株式會社東芝 |
| 主分類號: | B28D7/04 | 分類號: | B28D7/04;B28D5/02;H01L21/301 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐冰冰;黃劍鋒 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 加工 夾具 裝置 方法 | ||
1.一種加工夾具,具備:
基部,在一個面上具有保持加工物的區域;以及
檢測部,具有導電性,具備設置在保持上述加工物的區域的周邊的連接部、和分別連接在上述連接部兩端的布線部。
2.如權利要求1所述的加工夾具,上述檢測部設有多個。
3.如權利要求1所述的加工夾具,上述連接部夾著保持上述加工物的區域設有多個。
4.如權利要求1所述的加工夾具,在保持上述加工物的區域的周邊還具有傾斜面;
上述連接部設于上述傾斜面。
5.如權利要求4所述的加工夾具,上述傾斜面沿上述基部的厚度尺寸隨著向上述基部的邊端變薄的方向傾斜。
6.如權利要求4所述的加工夾具,在上述傾斜面上設置有多個上述檢測部。
7.如權利要求1所述的加工夾具,上述連接部在上述加工物的長度方向上夾著保持上述加工物的區域設有多個。
8.如權利要求1所述的加工夾具,上述連接部分別在保持上述加工物的區域的長度方向的兩端的各自的附近至少各設有一個。
9.如權利要求1所述的加工夾具,上述連接部在上述加工物的四個角一側夾著保持上述加工物的區域設有多個。
10.如權利要求1所述的加工夾具,上述連接部分別在保持上述加工物的區域的四個角的各自的附近至少各設有一個。
11.如權利要求1所述的加工夾具,還具備設置在上述連接部與上述基部之間的絕緣層。
12.如權利要求11所述的加工夾具,上述基部由從金屬、玻璃、陶瓷構成的組中選擇的至少一種材料形成。
13.如權利要求1所述的加工夾具,上述基部由尺寸穩定性高的絕緣性材料形成。
14.如權利要求13所述的加工夾具,上述基部由玻璃及陶瓷中的至少某一個形成。
15.一種加工裝置,具備:
權利要求1所述的加工夾具;
保持上述加工夾具的保持部;
具備加工被上述加工夾具所保持的加工物的刀片的加工部;
控制上述刀片在上述加工物的厚度方向上的刀尖位置的控制部;以及
計算上述刀片在上述加工物的厚度方向上的刀尖位置的運算部。
16.如權利要求15所述的加工裝置,上述控制部控制上述刀片的刀尖位置,將設置于上述加工夾具的連接部切斷;
上述運算部檢測上述連接部被切斷了這一情況,根據上述連接部被切斷了這一情況計算上述刀片的刀尖位置。
17.如權利要求16所述的加工裝置,上述運算部與上述連接部電連接。
18.如權利要求17所述的加工裝置,上述運算部通過檢測上述連接部的電阻、上述連接部中流過的電流以及上述連接部中的電壓的至少某一個來檢測上述連接部被切斷這一情況。
19.一種加工方法,具備:
控制刀片在加工物的厚度方向上的刀尖位置,切斷設置于權利要求1~7中的任一項所述的加工夾具的連接部的工序;
檢測上述連接部被切斷了這一情況,根據上述連接部被切斷了這一情況求出上述刀片的刀尖位置的工序;
根據求出的刀片的刀尖位置,求出在加工上述加工物之際刀片在上述加工物的厚度方向上的移動量的工序;以及
根據求出的刀片在加工物的厚度方向上的移動量,加工上述加工物的工序。
20.如權利要求19所述的加工方法,
在切斷上述連接部的工序中,切斷多個上述連接部;
在求出上述刀片的刀尖位置的工序中,分別檢測上述多個連接部被切斷的位置,求出在上述加工夾具上的位置偏差;
在求出上述刀片的移動量的工序中,根據求出的上述位置偏差來修正上述刀片的移動量。
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