[發明專利]適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法無效
| 申請號: | 201410054285.7 | 申請日: | 2014-02-18 |
| 公開(公告)號: | CN103834916A | 公開(公告)日: | 2014-06-04 |
| 發明(設計)人: | 鄭軍;成步文;王啟明 | 申請(專利權)人: | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號: | C23C14/06 | 分類號: | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 任巖 |
| 地址: | 100083 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 適用 led 光源 摻鉺光 放大器 材料 制備 方法 | ||
技術領域
本發明涉及鉺光放大器的技術,特別是適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法。通過設計鉺光放大器材料的結構,可以實現鉺離子對LED光源發出的光具有高吸收效率,提高了泵浦光效率,從而有效降低光放大器成本的技術。
背景技術
光放大器作為光通信網絡中的核心器件,一直是光通信領域的一個重要內容。光放大器能夠直接進行光放大,無需經過光電轉換,從而消除目前許多系統中的電子瓶頸,好比信息高速公路的“加油站”,使超長距離傳輸成為可能。摻鉺(Er)光放大器由于其獨特的優勢,在光通信領域應用十分廣泛。然而,稀土Er3+具有窄的能級吸收的特點,摻鉺光放大器需要采用價格昂貴的單模激光器(比如980nm、1480nm)來泵浦。如果能夠采用LED光源來泵浦摻鉺光放大器,那么摻鉺光放大器的成本將可以進一步降低。雖然也有報導采用大功率LED來直接泵浦鉺光放大器,但由于沒能從根本上解決Er3+能級吸收弱的特點,泵浦效率非常低,限制了其在現實中的應用。此外,也有采用將Er3+摻入半導體材料中,實現LED光源的泵浦的光放大器,但泵浦效率等問題仍未很好地解決。因此,研制LED光源激發下,Er3+高效發光的基質材料對實現低成本的摻鉺光放大器有著重要的意義。
發明內容
本發明的目的在于,提供一種適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,其是通過設計鉺光放大器材料的結構,以實現鉺離子對LED光源發出的光具有高吸收效率,提高泵浦光效率,從而可以有效降低光放大器的成本。
本發明提供一種適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,包括如下步驟:
步驟1:取SrmBanSixOy:Er3+/RE;
步驟2:將SrmBanSixOy:Er3+/RE壓制成靶材;
步驟3:采用濺射的方法,濺射靶材;
步驟4:靶材上濺射出的粒子,在基片上沉積,形成SrmBanSixOy:Er3+/RE的薄膜,完成制備。
本發明還提供一種適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,包括如下步驟:
步驟1:取SrmBanSixOy:RE;
步驟2:取Er2O3;
步驟3:將SrmBanSixOy:RE:RE和Er2O3分別壓制成靶材;
步驟4:采用濺射的方法,同時濺射兩種靶材;
步驟5:靶材上濺射出的粒子,在基片上沉積,形成SrmBanSixOy:Er3+/RE的薄膜,完成制備。
附圖說明
為進一步說明本發明的具體技術內容,以下結合實施例及附圖詳細說明如后,其中:
圖1是本發明實施例1的制備流程圖;
圖2是本發明實施例2的制備流程圖;
圖3是SrmBanSixOy:Er3+/RE薄膜的紅外發光譜和紅外發光對應的激發譜。
具體實施方式
實施例1:
請參閱圖1所示,本發明提供一種適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,包括如下步驟:
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