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[發(fā)明專利]適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201410054285.7 申請(qǐng)日: 2014-02-18
公開(公告)號(hào): CN103834916A 公開(公告)日: 2014-06-04
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 鄭軍;成步文;王啟明 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
主分類號(hào): C23C14/06 分類號(hào): C23C14/06;C23C14/34
代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 代理人: 任巖
地址: 100083 *** 國(guó)省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 適用 led 光源 摻鉺光 放大器 材料 制備 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,包括如下步驟:

步驟1:取SrmBanSixOy:Er3+/RE;

步驟2:將SrmBanSixOy:Er3+/RE壓制成靶材;

步驟3:采用濺射的方法,濺射靶材;

步驟4:靶材上濺射出的粒子,在基片上沉積,形成SrmBanSixOy:Er3+/RE的薄膜,完成制備。

2.一種適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,包括如下步驟:

步驟1:取SrmBanSixOy:RE;

步驟2:取Er2O3

步驟3:將SrmBanSixOy:RE:RE和Er2O3分別壓制成靶材;

步驟4:采用濺射的方法,同時(shí)濺射兩種靶材;

步驟5:靶材上濺射出的粒子,在基片上沉積,形成SrmBanSixOy:Er3+/RE的薄膜,完成制備。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,其中所述的SrmBanSixOy:Er3+/RE中,Er的原子百分?jǐn)?shù)為0.001at.%至10at.%,RE的總原子百分?jǐn)?shù)為0.001at.%至10at.%。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,其中所述SrmBanSixOy:Er3+/RE中,Er和RE的摩爾比為0.01至100。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,其中所述SrmBanSixOy:Er3+/RE,RE為Ce、Pr、Eu、Tb、Tm或Yb,或及其組合,其中m的數(shù)值為0-2,n的數(shù)值為0-2。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,其中所述SrmBanSixOy:Er3+/RE中,m和n的和為0-2。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,其中所述的SrmBanSixOy:Er3+/RE中,x的數(shù)值為0-3,y的數(shù)值為0-7。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的適用LED光源泵浦的摻鉺光放大器材料的制備方法,其中所述的SrmBanSixOy:RE,RE的總原子百分?jǐn)?shù)為0.001at.%至10at.%,RE為Ce、Pr、Eu、Tb、Tm或Yb,或及其組合,m的數(shù)值為0-2,n的數(shù)值為0-2,m和n的和為0-2,x的數(shù)值為0-3,y的數(shù)值為0-7。

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