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[發(fā)明專利]扇出型方片級封裝的制作方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201410045787.3 申請日: 2014-02-08
公開(公告)號: CN103745936A 公開(公告)日: 2014-04-23
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳峰;耿菲 申請(專利權(quán))人: 華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司
主分類號: H01L21/56 分類號: H01L21/56;H01L21/60
代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 32104 代理人: 殷紅梅
地址: 214000 江蘇省無錫市新區(qū)太湖國*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 扇出型方片級 封裝 制作方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種扇出型方片級封裝的制作方法,其特征在于,包括下述步驟:

第一步,提供承載片(101),在承載片(101)上貼覆粘結(jié)膠(102);

第二步,將芯片(103)正貼到粘結(jié)膠(102)上;

第三步,在承載片(101)上貼有芯片(103)的那一面上涂覆第二類感光樹脂(104),第二類感光樹脂(104)包括阻焊油墨、感光綠漆、干膜或感光型增層材料,第二類感光樹脂(104)將芯片(103)覆蓋;

第四步,去除芯片(103)正面的有效圖形區(qū)域以外的第二類感光樹脂(104),露出芯片(103)的有效圖形區(qū)域,使得芯片焊盤(106)暴露在外;

第五步,在承載片(101)上貼有芯片(103)的那一面上涂覆第一類感光樹脂(107),第一類感光樹脂(107)包括BCB、PBO、PSPI、聚酰亞胺或陶氏化學(xué)公司的Intervia材料;第一類感光樹脂(107)將芯片(103)暴露出的有效圖形區(qū)域覆蓋;

第六步,在第一類感光樹脂(107)中形成通向芯片焊盤(106)的導(dǎo)通孔(108);

第七步,在導(dǎo)通孔(108)中和第一類感光樹脂(107)上沉積一層種子層(109);在種子層(109)上涂覆光刻膠(110),然后使得光刻膠(110)上顯露出用于制作電鍍線路(111)的圖形,使用電鍍的方法,在顯露出的圖形區(qū)域中形成電連接芯片焊盤(106)的電鍍線路(111);

第八步,去除光刻膠(110)和光刻膠底部的種子層(109),保留電鍍線路(111)底部的種子層(109);在承載片(101)上再次涂覆一層第二類感光樹脂(104),使得上層的第二類感光樹脂(104)覆蓋電鍍線路(111);

然后在上層的第二類感光樹脂(104)上顯露出電鍍線路(111)上的金屬焊盤(112);

第九步,在金屬焊盤(112)上形成焊球(113)。

2.如權(quán)利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作方法,其特征在于:

所述第一步中,承載片(101)為矩形,材料為玻璃、金屬板或有機(jī)基板。

3.如權(quán)利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作方法,其特征在于:

所述第三步中,涂覆第二類感光樹脂(104)的工藝包括旋涂、噴涂、滾涂、絲網(wǎng)印刷、狹縫涂覆、噴墨打印、滾壓或真空壓合。

4.如權(quán)利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作方法,其特征在于:

所述第四步中,具體在曝光機(jī)中通過對位曝光工藝,使第二類感光樹脂(104)發(fā)生反應(yīng),使用顯影液將芯片(103)正面的有效圖形區(qū)域以外的第二類感光樹脂(104)去除。

5.如權(quán)利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作方法,其特征在于:

所述第五步中,涂覆第一類感光樹脂(107)的工藝包括旋涂、噴涂、滾涂、絲網(wǎng)印刷、狹縫涂覆、噴墨打印、滾壓或真空壓合。

6.如權(quán)利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作方法,其特征在于:

所述第七步中,通過濺射金屬或化學(xué)沉銅工藝,在導(dǎo)通孔(108)中和第一類感光樹脂(107)上沉積種子層(109)。

7.如權(quán)利要求1所述的扇出型方片級封裝的制作方法,其特征在于:

所述第九步中,通過植球、印刷、電鍍或化學(xué)鍍工藝形成焊球(113)。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

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