技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及樹脂生產(chǎn)方法，特別地，使用納米壓印(nano-imprint)法的樹脂生產(chǎn)方法，以及利用該生產(chǎn)方法時使用的樹脂生產(chǎn)設(shè)備。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體集成電路正在小型化和集成化。作為一種用于實現(xiàn)小型化和集成化的微細(xì)加工技術(shù)的圖案形成技術(shù)，給出光刻法。近年來，通過使用光刻法，半導(dǎo)體集成電路的精度已經(jīng)提高。然而，隨著要求的加工精度接近曝光光的衍射界限，光刻法技術(shù)也接近界限。然后，作為實現(xiàn)進一步小型化和更高的精度的方法，已經(jīng)提出納米壓印法。納米壓印法涉及將要用熱或光固化的樹脂涂布至基板以形成薄膜，將具有微細(xì)凹凸圖案的模具按壓至薄膜上并且用光照射薄膜或使薄膜進行熱處理，由此形成模具的凹凸圖案轉(zhuǎn)印至其上的樹脂。需要說明的是，作為是在基板上形成的薄膜固化的方法，給出使用放射線如光的放射線固化方法，和使用熱的熱固化方法等。

此外，在能夠形成具有微細(xì)圖案的樹脂的同時，納米壓印法具有各種待解決的問題。一個問題在于從固化樹脂脫離模具所需要的力，即，脫模力大。當(dāng)脫模力大時，出現(xiàn)如圖案缺陷的出現(xiàn)和由于將基板從臺上提起引起的定位精度劣化等問題。

在上述環(huán)境下，已有解決上述問題的幾個提議。例如，專利文獻1提出其中將使用光或熱產(chǎn)生氣體的氣體產(chǎn)生劑包含在固化性樹脂中的過程。該過程通過從固化性樹脂中產(chǎn)生氣體而降低脫模力。此外，專利文獻2提出通過使用用光產(chǎn)生氣體的光固化性樹脂而降低脫模力；以及通過使用施加至光固化性樹脂的光照射量和壓力來改變氣體的產(chǎn)生量的過程。此外，專利文獻3公開能夠通過在將抗蝕劑從模具中脫離時、預(yù)先將脫模力施加至模具以降低脫模力的變化而降低圖案缺陷的壓印設(shè)備。

專利文獻

PTL1：日本專利申請?zhí)亻_No.2010-262980

PTL2：日本專利申請?zhí)亻_No.2010-103464

PTL3：日本專利申請?zhí)亻_No.2011-86727

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

然而，根據(jù)專利文獻1中公開的過程，氣體產(chǎn)生時期不明確，因此在當(dāng)將固化物從模具中脫模時的某些情況下，氣體的產(chǎn)生停止。在此情況下，不能說充分地降低脫模力。此外，根據(jù)專利文獻2中公開的過程，施加至光固化性樹脂的光照射量和壓力僅為用于促進氣體產(chǎn)生的輔助手段，因此不能說通過用與專利文獻1中相同的方式的此過程充分降低脫模力。此外，專利文獻3中公開的設(shè)備僅能夠控制由驅(qū)動臺架(stage)而引起的振動，并且專利文獻3沒有明確要施加至模具的脫模力。因此，不能說在專利文獻3中公開的設(shè)備中充分地降低脫模力。

已做出本發(fā)明以解決上述問題，并且本發(fā)明的目的在于提供使用其中降低在模具和固化性樹脂之間施加的脫模力的納米壓印法的樹脂生產(chǎn)方法。

用于解決問題的方案

本發(fā)明的樹脂生產(chǎn)方法的第一方面為，樹脂生產(chǎn)方法，其將在表面上具有預(yù)定的凹凸圖案的模具和放射線固化性組合物保持彼此接觸的同時，通過將放射線固化性組合物固化而生產(chǎn)具有預(yù)定圖案的樹脂，所述方法的特征在于包括：

在基板上配置放射線固化性組合物的配置步驟；

使模具與放射線固化性組合物接觸的接觸步驟；

在將放射線固化性組合物與模具保持接觸的同時，使用放射線照射放射線固化性組合物的步驟；

當(dāng)使用放射線照射放射線固化性組合物時，沿將基板和模具彼此分離的方向產(chǎn)生拉伸應(yīng)力至模具和放射線固化性組合物不彼此分離的程度的拉伸應(yīng)力產(chǎn)生步驟；和

將放射線固化性組合物和模具彼此脫離的脫模步驟。

此外，本發(fā)明的樹脂生產(chǎn)方法的第二方面的特征在于包括：

在基板上配置熱固化性組合物的配置步驟；

使模具與熱固化性組合物接觸的接觸步驟；

在將熱固化性組合物與模具保持接觸的同時，加熱固化性組合物的熱處理步驟；

當(dāng)加熱熱固化性組合物時，沿將基板和模具彼此分離的方向產(chǎn)生拉伸應(yīng)力至模具和熱固化性組合物不彼此分離的程度的拉伸應(yīng)力產(chǎn)生步驟；和

將熱固化性組合物和模具彼此脫離的脫模步驟。

參照附圖，本發(fā)明的進一步特征將從以下示例性實施方式的描述變得明顯。

附圖說明

圖1A、1B1、1B2、1C1、1C2、1D、1E和1F為示出本發(fā)明的生產(chǎn)方法中的樹脂生產(chǎn)過程的示意性截面圖。

圖2為示出本發(fā)明的生產(chǎn)設(shè)備的一個示例性實施方式的示意圖。