[發明專利]樹脂生產方法和樹脂生產設備有效
| 申請號: | 201380038725.3 | 申請日: | 2013-07-17 |
| 公開(公告)號: | CN104487229A | 公開(公告)日: | 2015-04-01 |
| 發明(設計)人: | 飯田賢一;伊藤俊樹;松藤奈央子;鈴木達哉 | 申請(專利權)人: | 佳能株式會社 |
| 主分類號: | B29C59/02 | 分類號: | B29C59/02;H01L21/027 |
| 代理公司: | 北京魏啟學律師事務所 11398 | 代理人: | 魏啟學 |
| 地址: | 日本東京都大*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 樹脂 生產 方法 設備 | ||
1.一種樹脂生產方法,其用于通過在將表面上具有預定的凹凸圖案的模具和放射線固化性組合物保持彼此接觸的同時,將所述放射線固化性組合物固化來生產具有預定圖案的樹脂,其特征在于,所述方法包括:
在基板上配置所述放射線固化性組合物的配置步驟;
使所述模具與所述放射線固化性組合物接觸的接觸步驟;
在將所述放射線固化性組合物與所述模具保持接觸的同時,使用放射線照射所述放射線固化性組合物的放射線照射步驟;
當使用所述放射線照射所述放射線固化性組合物時,沿將所述基板和所述模具彼此分離的方向產生拉伸應力至所述模具和所述放射線固化性組合物不彼此分離的程度的拉伸應力產生步驟;和
將所述放射線固化性組合物和所述模具彼此脫離的脫模步驟。
2.根據權利要求1所述的樹脂生產方法,其中所述拉伸應力為0.001N/mm2以上且1.000N/mm2以下。
3.根據權利要求1或2所述的樹脂生產方法,其中所述放射線固化性組合物進一步含有用于通過使用所述放射線照射而產生氣體的氣體產生劑。
4.根據權利要求1所述的樹脂生產方法,其中在開始所述放射線照射步驟之后,進行沿將所述基板和所述模具彼此分離的方向產生拉伸應力至所述模具和所述放射線固化性組合物不彼此分離的程度的所述拉伸應力產生步驟。
5.根據權利要求1-3任意一項所述的樹脂生產方法,其進一步包括在所述放射線照射步驟和所述拉伸應力產生步驟之間,通過用具有與所述放射線照射步驟中使用的放射線的波長不同的波長的放射線照射所述放射線固化性組合物而產生氣體的氣體產生步驟。
6.一種樹脂生產方法,其特征在于,其包括:
在基板上配置熱固化性組合物的配置步驟;
使模具與所述熱固化性組合物接觸的接觸步驟;
在將所述熱固化性組合物與所述模具保持接觸的同時,加熱所述熱固化性組合物的熱處理步驟;
當加熱所述熱固化性組合物時,沿將所述基板和所述模具彼此分離的方向產生拉伸應力至所述模具和所述熱固化性組合物彼此不分離的程度的拉伸應力產生步驟;和
將所述熱固化性組合物和所述模具彼此脫離的脫模步驟。
7.根據權利要求6所述的樹脂生產方法,其中所述拉伸應力為0.001N/mm2以上且1.000N/mm2以下。
8.根據權利要求6或7所述的樹脂生產方法,其中所述熱固化性組合物進一步含有用于通過加熱而產生氣體的氣體產生劑。
9.一種樹脂生產設備,其用于生產具有預定圖案的樹脂,其特征在于,所述設備包括:
用于在基板上配置固化性組合物的單元;
用于使模具與所述固化性組合物接觸的單元;
用于在將所述固化性組合物與所述模具保持接觸的同時,將所述固化性組合物固化的單元;
用于當將所述固化性組合物固化時,沿將所述基板和所述模具彼此分離的方向產生拉伸應力至所述模具和所述固化性組合物不彼此分離的程度的單元;和
用于將所述固化性組合物和所述模具彼此脫離的單元。
10.根據權利要求9所述的樹脂生產設備,其中所述用于產生拉伸應力的單元分別將所述基板的相對位置和所述模具的相對位置移動至所述模具和所述固化性組合物不彼此分離的程度。
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