技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種晶圓盒傳輸驅動裝置。

背景技術

在半導體制造領域，尤其是濕刻的設備中，可以通過一種晶圓盒傳輸驅動裝置來驅動晶圓盒的移動。

然而，在現有的晶圓盒傳輸驅動裝置中，至少包括伺服電機、設于底座上的主動輪、從動輪和設于所述從動輪內用以與所述從動輪同步旋轉的導螺桿，所述伺服電機與主動輪連接，所述主、從動輪間通過傳動帶傳動，所述導螺桿通過旋轉運動驅動晶圓盒移動。具體來說，總控系統將命令傳輸至所述伺服電機，總控系統根據該伺服電機反饋的數據判斷命令的執行情況，電機旋轉后帶動主動輪和從動輪旋轉，進而帶動所述導螺桿旋轉，最終實現晶圓盒移動的驅動。

在該設備中，無論伺服馬達驅動與否，導螺桿在垂直方向是不應該發生任何位移的，該螺桿是通過螺絲以及雙向軸承固定在整個機器人架子的底部，不拆卸的話也是無法觀察到的，一旦導螺桿發生任何問題，例如螺紋發生老化磨平等情況，或者傳動帶積灰太多，又或者傳動帶的松緊裝置積灰太多，都可能導致發生往上的位移，伺服電機傳過來的位移量就會發生偏差從而導致機器人在垂直位置上的移動量不夠精準而發生不必要的碰撞危險，具體來說，總控系統計算x距離需要電機和導螺桿均旋轉80圈，然而由于以上諸多情況的發生，伺服電機的80圈旋轉，卻只能使得導螺桿旋轉75圈，然而，總控系統根據伺服電機的反饋所測得的執行情況卻依舊是80圈，于是總控系統就繼續進行后續工藝了，這就使得晶圓盒在沒有移動足夠距離的情況下進行后續流程，會對后續工藝以及硅片帶來嚴重的損害。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種能減少甚至消除伺服電機傳遞而來的位移量的偏差，進而準確移動晶圓盒的晶圓盒傳輸驅動裝置。

為了解決這一技術問題，一種晶圓盒傳輸驅動裝置，至少包括伺服電機、設于底座上的主動輪、從動輪和設于所述從動輪內用以與所述從動輪同步旋轉的導螺桿，所述伺服電機與主動輪連接，所述主、從動輪間通過傳動帶傳動，所述導螺桿通過旋轉運動驅動晶圓盒移動，所述晶圓盒傳輸驅動裝置還包括千分尺裝置，所述千分尺裝置的測距螺桿與所述導螺桿固定連接，且所述測距螺桿與所述導螺桿同軸設置。

優選的，所述伺服電機和千分尺裝置均與總控系統連接。

優選的，所述千分尺裝置通過一個固定結構與所述底座連接。

優選的，所述晶圓盒傳輸驅動裝置還包括透明罩，所述透明罩蓋于所述底座上，所述主動輪、從動輪和導螺桿均位于所述透明罩內。

優選的，所述透明罩的材質為聚甲基丙烯酸甲脂。

優選的，所述晶圓盒傳輸驅動裝置還包括激光傳感器，所述激光傳感器設在所述透明罩上。

優選的，所述激光傳感器位于所述透明罩頂部的中間位置。

本實用新型通過千分尺裝置的增加，可將導螺桿向上的位移直觀地表現出來，可供相關人員查看，以便于及時做出處理，從而避免了由于導螺桿的機械問題所帶來的弊端，提供了一種能減少甚至消除伺服電機傳遞而來的位移量的偏差，進而準確移動晶圓盒的晶圓盒傳輸驅動裝置。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施例提供的晶圓盒傳輸驅動裝置的結構示意圖；

圖中，1-主動輪；2-從動輪；3-導螺桿；4-傳動帶；5-底座；6-千分尺裝置；61-儀表盤；62-測距螺桿；7-透明罩；8-固定結構；9-激光傳感器。

具體實施方式

以下將結合圖1對本實用新型提供的晶圓盒傳輸驅動裝置進行詳細的描述，其為本實用新型一可選的實施例，可以認為本領域的技術人員在不改變本實用新型精神和內容的范圍內，能夠對其進行修改和潤色。

請參考圖1，本實施例提供了一種晶圓盒傳輸驅動裝置，主要用于濕法刻蝕（WET）中，至少包括伺服電機（圖未示）、設于底座5上的主動輪1、從動輪2和設于所述從動輪2內用以與所述從動輪2同步旋轉的導螺桿3，所述伺服電機與主動輪1連接，即所述伺服電機驅動所述主動輪1旋轉，所述主、從動輪1與2間通過傳動帶4傳動，所述導螺桿3通過旋轉運動驅動晶圓盒移動，其具體如何實現驅動在公知的常識中有若干方案，本實施例不再例舉描述，而僅對改進部分進行詳細描述。