[實用新型]晶圓盒傳輸驅動裝置有效

申請號：	201320804569.4	申請日：	2013-12-09
公開（公告）號：	CN203631521U	公開（公告）日：	2014-06-04
發明（設計）人：	倪堯;肖方;張偉;衛金榮;潘建偉	申請（專利權）人：	中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
主分類號：	H01L21/677	分類號：	H01L21/677
代理公司：	上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237	代理人：	屈蘅;李時云
地址：	100176 北京市大興區***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	晶圓盒傳輸驅動裝置
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【權利要求書】：

1.一種晶圓盒傳輸驅動裝置，至少包括伺服電機、設于底座上的主動輪、從動輪和設于所述從動輪內用以與所述從動輪同步旋轉的導螺桿，所述伺服電機與主動輪連接，所述主、從動輪間通過傳動帶傳動，所述導螺桿通過旋轉運動驅動晶圓盒移動，其特征在于：還包括千分尺裝置，所述千分尺裝置的測距螺桿與所述導螺桿固定連接，且所述測距螺桿與所述導螺桿同軸設置。

2.如權利要求1所述的晶圓盒傳輸驅動裝置，其特征在于：所述伺服電機和千分尺裝置均與總控系統連接。

3.如權利要求1所述的晶圓盒傳輸驅動裝置，其特征在于：所述千分尺裝置通過一個固定結構與所述底座連接。

4.如權利要求1所述的晶圓盒傳輸驅動裝置，其特征在于：還包括透明罩，所述透明罩蓋于所述底座上，所述主動輪、從動輪和導螺桿均位于所述透明罩內。

5.如權利要求4所述的晶圓盒傳輸驅動裝置，其特征在于：所述透明罩的材質為聚甲基丙烯酸甲脂。

6.如權利要求4所述的晶圓盒傳輸驅動裝置，其特征在于：還包括激光傳感器，所述激光傳感器設在所述透明罩上。

7.如權利要求6所述的晶圓盒傳輸驅動裝置，其特征在于：所述激光傳感器位于所述透明罩頂部的中間位置。

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