[發(fā)明專利]一種可提高成像質量的TDI-CCD像元結構無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310384700.0 | 申請日: | 2013-08-29 |
| 公開(公告)號: | CN103489886A | 公開(公告)日: | 2014-01-01 |
| 發(fā)明(設計)人: | 周剛;周九飛;趙嘉鑫;徐正平;陳志超 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號: | H01L27/148 | 分類號: | H01L27/148 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人: | 張偉 |
| 地址: | 130033 吉*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 提高 成像 質量 tdi ccd 結構 | ||
技術領域
本發(fā)明屬于CCD器件制造及應用技術領域,具體涉及一種可提高成像質量的TDI-CCD像元結構。
背景技術
TDI(Time?Delay?Integration)CCD(時間延遲積分電荷耦合器件)利用多級光敏元對同一運動目標進行多次積分,能增強光信號的采集,其具有低噪聲,寬動態(tài)范圍等優(yōu)點,廣泛應用于成像檢測,航空、航天遙感等領域。
TDI-CCD工作原理是:假設TDI-CCD具有m×n個像元,m為水平方向像元數(shù),n為垂直方向的像元數(shù),也是對應的積分級數(shù)。成像時,隨著成像系統(tǒng)與目標之間的相對運動,TDI-CCD從第n級至第1級逐級對同一目標感光,電荷也逐級累積,當最后一級像元感光結束時,累積電荷輸出,完成對該目標的成像。如果像元之間沒有非感光區(qū)域,則填充因子為100%。傳統(tǒng)觀點認為,填充因子越高,成像效果越好,靈敏度高。但實際情況是填充因子越高,靈敏度雖然越高,但是成像質量反而變差。
由于理想情況下,獲得高質量圖像的前提是需要確保TDI-CCD的行轉移速度與焦平面上圖像的運動速度保持一致,即在一行曝光周期內,TDI-CCD的像元在TDI方向上與目標保持相對靜止。但是TDI-CCD的行轉移是離散方式,對于傳統(tǒng)的填充因子為100%的TDI-CCD而言,這將導致單行像元在一行轉移周期內實際收集的是2行像元對應的目標區(qū)域光能量,并且該區(qū)域內各點得到的曝光時間長度不相等,這種條件下所獲得的圖像受到了污染,稱之為像移。據(jù)分析,這種像移曝光量約占獲取目標曝光量的1/4。
發(fā)明內容
為了解決現(xiàn)有技術中存在的技術問題,本發(fā)明在不改變原像元所占面積的情況下,通過縮小TDI方向上像元的感光區(qū)域尺寸,提供一種可提高成像質量的TDI-CCD像元結構。
為了解決上述技術問題,本發(fā)明的技術方案具體如下:
一種可提高成像質量的TDI-CCD像元結構,該像元結構上的感光區(qū)域滿足:
該感光區(qū)域TDI方向上的寬度小于或等于像元結構TDI方向上的寬度的25%。
在上述技術方案中,該感光區(qū)域的寬度為TDI方向上的像元結構的長度的12.5%。
本發(fā)明具有以下的有益效果:
本發(fā)明的一種可提高成像質量的TDI-CCD像元結構,在不改變原像元所占面積的情況下,使TDI-CCD在TDI方向上相鄰像元之間的非感光區(qū)域占原像元面積的75%以上,即縮小TDI方向上像元的感光區(qū)域尺寸,具有這種形狀像元的TDI-CCD,可以有效地提高成像質量。
附圖說明
下面結合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細說明。
圖1是m×n級填充因子為100%的TDI-CCD結構示意圖;
圖2是填充因子為100%的單像元結構示意圖;
圖3是本發(fā)明的單像元結構示意圖;
圖4是本發(fā)明的m×n級TDI-CCD結構示意圖。
具體實施方式
本發(fā)明的發(fā)明思想為:
本發(fā)明的可提高成像質量的TDI-CCD像元結構,在不改變原像元所占面積的情況下,通過使TDI-CCD在TDI方向上相鄰像元之間的非感光區(qū)域占原像元面積的75%以上,即縮小TDI方向上像元的感光區(qū)域尺寸,來有效地提高成像質量。
為使本發(fā)明的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚明白,下面結合附圖,對本發(fā)明作一步詳細說明。
圖1是m×n級填充因子為100%的TDI-CCD結構示意圖,由m×n個像元101組成,如圖2所示,像元201的尺寸為b×c,整個像元表面均為感光區(qū)域。減少TDI方向上的感光區(qū)域,如圖3所示,像元感光區(qū)301的尺寸為a×c,像元的非感光區(qū)302的尺寸為(b–a)×c。則改善后的m×n級的TDI-CCD結構示意圖如圖4所示。
當a=b/4時,單像移量將減少為1/16,有效圖像曝光量是原來的5/16;當a=b/8時,像移量將減少為1/32,有效圖像曝光量是原來的31/192。本發(fā)明的TDI-CCD像元結構能有效地提高成像質量。
在本具體實施方式中,只需滿足感光區(qū)域在TDI方向上的寬度a小于等于25%×b即可實現(xiàn)本發(fā)明的發(fā)明目的,在此不再贅述。
在上述具體實施方式中:
所述TDI-CCD:時間延遲積分電荷耦合器件;
所述像元:TDI-CCD中最小的感光單元;
所述TDI方向:像元的一個方向,為TDI-CCD的像元陣列垂直方向,也是像元電荷逐行轉移方向,與像在CCD像面上的移動方向保持一致;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





