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[發明專利]一種柱狀結構CdZnTe薄膜的制備方法無效

專利信息
申請號: 201310280052.4 申請日: 2013-07-05
公開(公告)號: CN103343389A 公開(公告)日: 2013-10-09
發明(設計)人: 王林軍;王君楠;黃健;姚蓓玲;唐可;朱悅;張凱勛;陶駿;沈心蔚 申請(專利權)人: 上海大學
主分類號: C30B29/46 分類號: C30B29/46;C30B28/12
代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205 代理人: 陸聰明
地址: 200444*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 柱狀 結構 cdznte 薄膜 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種柱狀結構CdZnTe薄膜的制備方法,其特征在于,包括如下過程和步驟:

(a)CdZnTe單晶升華源的準備:將高純Cd、Zn、Te放入石英管中,在高真空下,采用移動加熱法生長出質量好、成分分布相對均勻的CdZnTe單晶體,其中鋅的摩爾含量為5~20%,將生長好的晶體切片作為升華源;

(b)襯底預處理:采用鍍有透明導電層FTO的玻璃或普通鈉鈣玻璃作為襯底,將襯底用去離子水、丙酮和乙醇分別超聲清洗5~15分鐘,洗去表面的雜質與有機物,烘干后放入近空間升華反應室內;

(c)CdZnTe薄膜生長過程:開機械泵抽真空,將升華腔內氣壓抽至3Pa以下后關閉機械泵,通入氬氣將氣壓調至100~500Pa,關閉氣瓶;將升華源及襯底分別加熱到500~650℃和400~550℃;生長30min~180min后,再通入氬氣將氣壓調至500~1000Pa,繼續生長30min~60min后,關閉加熱源,開機械泵抽真空至氣壓為10Pa以下,關機械泵,待樣品冷卻至室溫,取出CdZnTe薄膜樣品;

(d)CdZnTe薄膜拋光、腐蝕及退火:采用0.03um顆粒度氧化鋁,手工拋光制備好的樣品;再將樣品在CdCl2氛圍中300~450°C退火20~60分鐘;配制濃度為0.1~0.5%的溴甲醇溶液,將退過火的樣品浸入溶液腐蝕10~60s,獲得柱狀結構的CdZnTe薄膜。

2.一種柱狀結構CdZnTe薄膜,采用如權利要求1所述的方法,其特征在于,薄膜的厚度為100~500mm。

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