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[發明專利]銅銦鎵硒多層薄膜及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201310162904.X 申請日: 2013-05-06
公開(公告)號: CN103280487A 公開(公告)日: 2013-09-04
發明(設計)人: 徐東;徐永清;葉帥 申請(專利權)人: 深圳市亞太興實業有限公司
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281 代理人: 彭家恩;彭愿潔
地址: 518103 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 銅銦鎵硒 多層 薄膜 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種銅銦鎵硒多層薄膜的制備方法,其特征在于,包括:

配制步驟:配制包含不同Ga/(In+Ga)比例的銅銦鎵硒前驅溶膠;

涂覆步驟:非真空條件下,按照在從襯底到遠離襯底的方向上Ga/(In+Ga)比例為先遞減后遞增的方式,將所述銅銦鎵硒前驅溶膠逐層涂覆到襯底上,得到銅銦鎵硒前驅薄膜;

生成步驟:對所述涂覆步驟最終得到的銅銦鎵硒前驅薄膜進行熱處理,冷卻后即制成銅銦鎵硒多層薄膜。

2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述配制步驟包括:

將CuSe納米顆粒和(In1-xGax)2Se3納米顆粒分別均勻分散在分散劑中,根據需要的化學計量比進行混合,得到具有不同Ga/(In+ga)比例的銅銦鎵硒前驅溶膠。

3.如權利要求2所述的方法,其特征在于:

所述銅銦鎵硒前驅溶膠中Cu離子濃度控制在0.2摩爾/升~1摩爾/升;

所述分散劑選自甲醇、乙醇、環己烷、甲苯、二甲苯和己硫醇中的任一種;

所述CuSe納米顆粒和(In1-xGax)2Se3納米顆粒的粒徑小于等于50納米。

4.如權利要求1所述的方法,其特征在于:

所述涂覆步驟中,每進行一層涂覆后,對涂覆得到的銅銦鎵硒前驅薄膜進行烘干;

所述涂覆步驟中使用旋轉涂膜法進行涂覆,其中,旋涂機的轉速控制在100轉/分鐘~6000轉/分鐘,涂膜時間為30秒~2分鐘;或者,所述涂覆步驟中使用浸漬提拉法進行涂覆,其中,提拉機的速率控制在0.2厘米/分鐘~5厘米/分鐘,浸泡時間控制在1分鐘~4分鐘。

5.如權利要求2所述的方法,其特征在于,所述生成步驟具體包括:

燒結子步驟,將所述涂覆步驟最終得到的銅銦鎵硒前驅薄膜放到氣氛退火爐中,將所述氣氛退火爐以預定升溫速率升溫到預定最高溫度,并在所述預定最高溫度下保溫預定時間;

冷卻子步驟,將熱處理后的銅銦鎵硒前驅薄膜隨爐冷卻到室溫,即制成銅銦鎵硒多層薄膜。

6.如權利要求5所述的方法,其特征在于,所述預定升溫速率為10℃/s~100℃/s,所述預定最高溫度為450℃~650℃,所述預定時間為0.5小時~3小時。

7.如權利要求5所述的方法,其特征在于,在將所述涂覆步驟最終得到的銅銦鎵硒前驅薄膜放到氣氛退火爐后,通入惰性氣氛。

8.如權利要求5所述的方法,其特征在于,所述燒結子步驟中,在所述氣氛退火爐升溫到200℃~400℃時,通入的含硒氣氛,所述冷卻子步驟中,當溫度降至300℃~200℃時,停止含硒氣氛的通入。

9.如權利要求8所述的方法,其特征在于,所述含硒氣氛為硒蒸氣或H2Se氣體,其流量為0.1L/min~4L/min。

10.一種銅銦鎵硒多層薄膜,其特征在于,包括設置在襯底上的具有不同Ga/(In+Ga)比例的CuIn1-xGaxSe2多層膜結構,其中Ga/(In+Ga)比例在從襯底到遠離襯底的方向上為先遞減后遞增,0.2≤x≤0.4。

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