[發明專利]使用整個原始圖像進行缺陷檢測的系統和方法有效
| 申請號: | 201280028222.3 | 申請日: | 2012-06-05 |
| 公開(公告)號: | CN103765200A | 公開(公告)日: | 2014-04-30 |
| 發明(設計)人: | 尼古拉·默克契 | 申請(專利權)人: | 光子動力公司 |
| 主分類號: | G01N21/956 | 分類號: | G01N21/956;G01B11/30;G06T7/00 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人: | 曹瑾 |
| 地址: | 美國加*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 使用 整個 原始 圖像 進行 缺陷 檢測 系統 方法 | ||
1.一種用于識別具有周期性特征的電子電路缺陷的裝置,該裝置包括:
a.照相機,用于取得該電子電路的圖像;以及
b.圖像處理系統,包含處理單元及記憶器,該圖像處理系統用以:
i.從該照相機接收該電子電路的圖像;
ii.由該電子電路的周期性特征的至少一對角線尺寸對所接收的該電子電路的該圖像執行對角線位移,進而形成該電子電路的已位移圖像;
iii.利用該電子電路的圖像以及該電子電路的已位移圖像來識別候選缺陷;
iv.利用位于已識別的候選缺陷附近的已選擇的至少一個不包含缺陷的圖像區域來計算該電子電路區域的一個或多個局部無缺陷參考圖像;以及
v.利用已計算的電子電路的無缺陷參考圖像及電子電路的圖像確定該電子電路中的缺陷。
2.根據權利要求1所述的裝置,包含位于該電子電路附近的光電轉換器,其中,由該照相機所形成的電子電路的電壓圖像是靠光電轉換器成像而獲得。
3.根據權利要求2所述的裝置,其中該圖像處理系統更用于定位成像路徑中的缺陷,并對已定位的該成像路徑的缺陷與電壓圖像中的已確定的缺陷進行交叉檢查,以從電子電路缺陷檢測中排除位于電壓圖像中且對應于調制器缺陷的區域。
4.根據權利要求2所述的裝置,其中,成像路徑的缺陷由以下方式來定位:利用低通濾波器對該調制器的校準圖像執行卷積運算以獲得已卷積校準圖像,計算校準圖像與卷積校準圖像之間的絕對差異以獲得差異圖像,并以臨界值限定該差異圖像。
5.根據權利要求1所述的裝置,其中該圖像處理系統由以下方式來識別候選缺陷:對電子電路的圖像與電子電路的已位移圖像執行減法運算,并對所得到的差異圖像進行臨界值限定。
6.根據權利要求5所述的裝置,其中,在執行臨界值限定之前,使用低通濾波器對所得到的差異圖像執行卷積運算,并對已卷積的差異圖像執行臨界值限定。
7.根據權利要求6所述的裝置,其中,電子電路的圖像中的感興趣區域從候選缺陷附近選出。
8.根據權利要求1所述的裝置,其中,圖像處理系統由以下方式確定電子電路中的缺陷:利用電子電路的區域的已計算一個或多個局部無缺陷參考圖像,對該候選缺陷附近的感興趣圖像區域執行臨界值限定。
9.根據權利要求1所述的裝置,其中,該圖像處理系統用于通過將候選缺陷附近的感興趣圖像區域與電子電路的區域的已計算的局部無缺陷參考圖像之間的差異與臨界值相比較,以確定電子電路的缺陷。
10.根據權利要求1所述的裝置,其中,圖像處理系統用于通過將候選缺陷附近的感興趣圖像區域與已計算的第一無缺陷參考圖像及計算的第二無缺陷參考圖像相比較來確定電子電路的缺陷,以計算的第一無缺陷參考圖像包含復數最小強度值,已計算的第二無缺陷參考圖像包含復數最大強度值,最小強度值是由針對無缺陷參考圖像的復數執行體而計算出,且最大強度值也是由針對無缺陷參考圖像的復數執行體而計算出。
11.一種用于識別具有周期性特征的電子電路缺陷的方法,該方法包含下列步驟:
a.利用照相機獲得電子電路的圖像;
b.由電子電路周期性特征的至少一個對角線尺寸對所取得的電子電路圖像執行對角線位移,進而形成電子電路的已位移圖像;
c.利用電子電路的圖像以及電子電路的已位移圖像來識別候選缺陷;
d.利用最可能接近已識別的候選缺陷的已選擇的至少一個圖像區域來計算電子電路區域的一個或多個局部無缺陷參考圖像;以及
e.利用電子電路的已計算的無缺陷參考圖像及電子電路圖像來確定電子電路的缺陷,其中,步驟b至d由包含一處理單元及一記憶器的圖像處理系統執行。
12.根據權利要求11所述的方法,其中,由照相機所形成的電子電路的圖像是由對光電轉換器成像而獲得。
13.根據權利要求11所述的方法,更包含下列步驟:定位成像路徑中的缺陷;以及對已定位的成像路徑中的缺陷與電壓圖像中的已確定的缺陷進行交叉檢查,以從電子電路中的缺陷檢測中排除位于電壓圖像中且對應于調制器的缺陷的區域。
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