1.小面積襯底用硒源離化器，包括內部有兩個電極形成離化腔室的方形離化器殼體，離化腔室中有加熱源、離化腔室頂部有氣體輸出口，離化腔室底部有氣體輸入口，其特征在于：方形離化器殼體內壁固裝有絕緣層，兩個電極均為平板狀電極板，并固裝在氣體輸出口和氣體輸入口之間相對應的兩面內壁的絕緣層上，形成相互平行的兩個電極板；兩個電極板上均有密封絕緣引出在離化器殼體外面的電極接線柱；絕緣層中穿有從離化腔室通向外部的Ar氣輸入管；所述離化腔室底部的氣體輸入口為Se蒸汽輸入口。

2.根據權利要求1所述的小面積襯底用硒源離化器，其特征在于：所述離化器殼體下端為帶有固定孔的殼體下法蘭；所述離化器殼體上端為帶有固定孔的殼體上法蘭。

3.根據權利要求1所述的小面積襯底用硒源離化器，其特征在于：所述絕緣層為熱塑性塑料。

4.根據權利要求1所述的小面積襯底用硒源離化器，其特征在于：所述熱塑性塑料為PTFE、PS、PE、PP之一種。

5.根據權利要求1所述的小面積襯底用硒源離化器，其特征在于：所述從離化腔室通向外部的Ar氣輸入管和從電極板上引出通向外部的電極接線柱與離化器殼體之間的密封絕緣材料均為陶瓷。