[發明專利]壓印裝置、使用該壓印裝置的物品制造方法和壓印方法有效
| 申請號: | 201210493215.2 | 申請日: | 2012-11-28 |
| 公開(公告)號: | CN103135341A | 公開(公告)日: | 2013-06-05 |
| 發明(設計)人: | 宮田巨樹 | 申請(專利權)人: | 佳能株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/00 | 分類號: | G03F7/00;B29C59/02 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人: | 康建忠 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓印 裝置 使用 物品 制造 方法 | ||
1.一種壓印裝置,被配置為通過模具在基板上使未固化的樹脂成形并使該樹脂固化,并且在所述基板上的固化的樹脂上形成圖案,該壓印裝置包括:?
保持單元,被配置為通過使用包含多個吸附力產生部的吸附單元來保持模具;?
吸附力調整單元,被配置為能夠調整所述多個吸附力產生部的吸附力;以及?
形狀校正單元,被配置為通過向所述模具施加力來使所述模具的圖案區域的形狀與所述基板的基板側圖案區域的形狀對準,?
其中,在通過使用所述形狀校正單元向所述模具施加力的情況下,所述吸附力調整單元將向所述模具施加吸附的吸附表面的預定區域配置為吸附區域,并且,調整多個吸附力產生部的吸附力,使得其它區域上的吸附力比所述吸附區域上的吸附力小。?
2.根據權利要求1的壓印裝置,其中,所述預定區域是位于所述模具的與形成圖案的表面相反的表面上的區域,并且,所述其它區域是與所述預定區域相比位置更靠近所述模具的端側的區域。?
3.根據權利要求1的壓印裝置,其中,吸附力產生部包含吸氣端口。?
4.根據權利要求3的壓印裝置,其中,吸附力調整單元將關于所述其它區域的吸氣端口的吸附壓力配置為大氣壓力。?
5.根據權利要求1的壓印裝置,其中,在通過形狀校正單元沿一個軸向施加的力的量大于沿另一軸向施加的量時,沿所述另一軸向延伸以與所述圖案區域相交的區域被配置為所述吸附區域。?
6.根據權利要求1的壓印裝置,其中,吸附力調整單元在接觸的模具和基板上的樹脂脫離之前增加所述其它區域中的吸附力。?
7.一種物品的制造方法,包括:?
通過使用壓印裝置在基板上形成樹脂的圖案;和?
加工具有在以上步驟中形成的圖案的基板,?
其中,壓印裝置被配置為通過模具在基板上使未固化的樹脂成形并使該樹脂固化,并且在所述基板上的固化的樹脂上形成圖案,該壓印裝置包括:?
保持單元,被配置為通過使用包含多個吸附力產生部的吸附單元來保持模具;?
吸附力調整單元,被配置為調整所述多個吸附力產生部的吸附力;以及?
形狀校正單元,被配置為通過向所述模具施加力來使所述模具的圖案區域的形狀與基板側圖案區域的形狀對準,?
其中,在通過使用所述形狀校正單元向所述模具施加力的情況下,所述吸附力調整單元將向所述模具施加吸附的吸附表面的預定區域配置為吸附區域,并且,調整所述多個吸附力產生部的吸附力,使得其它區域上的吸附力比所述吸附區域中的吸附力小。?
8.一種用于將在模具上形成的圖案轉印到基板上的樹脂的壓印方法,該方法包括:?
通過吸附來保持所述模具的與形成圖案的表面相反的表面;?
使所述模具的上面形成有圖案的區域變形;?
在所述模具的變形圖案區域與基板上的樹脂接觸的配置中,使基板上的樹脂固化;和?
使接觸的模具和樹脂脫離,并且其中,?
在使模具的圖案區域變形時,以預定的吸附力保持與上面形成有圖案的模具的表面相反的預定區域,并且,所述預定區域為使得其它區域以比所述預定的吸附力小的吸附力被保持。?
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