[發明專利]基板制造方法、布線基板的制造方法、玻璃基板以及布線基板在審
| 申請號： | 201210353172.8 | 申請日： | 2012-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN103025083A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 伏江隆;菊地肇 | 申請（專利權）人： | HOYA株式會社 |
| 主分類號： | H05K3/40 | 分類號： | H05K3/40;H05K3/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艷君;李偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 方法 布線 玻璃 以及 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板制造方法，是制造與使用含有硅氧化物的玻璃形成的玻璃基板的表面和背面連通的貫通孔的孔內填充有金屬材料的基板的基板制造方法，其特征在于，具備：
在填充所述金屬材料前，通過選擇性地蝕刻處于包圍所述貫通孔的孔內的側壁附近的硅氧化物而形成錨定部的蝕刻工序；
在所述蝕刻工序后，在所述貫通孔的孔內填充金屬材料的填充工序。
2.根據權利要求1所述的基板制造方法，其特征在于，
所述玻璃是結晶化玻璃。
3.根據權利要求1或者2所述的基板制造方法，其特征在于，
在所述蝕刻工序中，使用酸性氟化銨與強酸性銨鹽的混合液作為蝕刻液。
4.一種布線基板的制造方法，其特征在于，
通過權利要求1或者2所述的基板制造方法，制造出玻璃基板的貫通孔的孔內填充有金屬材料的基板后，在該玻璃基板的一面側與另一面側中的至少一方形成布線圖案。
5.一種玻璃基板，是與使用含有硅氧化物的玻璃形成的基板的表面和背面連通的貫通孔的孔內填充有金屬材料的玻璃基板，其特征在于，
在包圍所述貫通孔的孔內的側壁形成有錨定部，所述填充的金屬進入該錨定部的凹凸的至少一部分。
6.根據權利要求5所述的玻璃基板，其特征在于，
所述玻璃是結晶化玻璃。
7.一種布線基板，其特征在于，
在權利要求5或者6所述的玻璃基板的一面側與另一面側中的至少一方形成有布線圖案。
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