技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及層疊方法及層疊裝置，特別涉及將例如具有凸塊的電子零件等具有突部的被層疊體、與例如樹(shù)脂層等薄膜狀層疊體疊合并加熱及加壓、由此以上述突部至少將薄膜狀層疊體貫通的方式進(jìn)行層疊的方法和其裝置。?

背景技術(shù)

作為具有突部的電子零件等被層疊體，例如在半導(dǎo)體晶片的表面上，形成有例如由軟釬料、銅、金等金屬構(gòu)成的凸塊。該凸塊從半導(dǎo)體晶片的表面突出，一般成形為前端接近于球面的圓柱狀或蛋型，高度(突出量)是0.01～0.04mm，直徑為0.01～0.04mm左右。此外，相互相鄰的凸塊的間隔是0.03～0.10mm。在這樣的凸塊的形成中，采用鍍層法、或膏印刷法、球搭載法等。?

形成這樣的凸塊的半導(dǎo)體晶片一般由硅構(gòu)成，形成為圓形，為直徑是4、8、12、16英寸的規(guī)格，厚度為0.025～0.800mm。?

另一方面，作為薄膜狀層疊體，絕緣性樹(shù)脂薄膜一般例如以環(huán)氧等熱硬化性樹(shù)脂為主成分而構(gòu)成。此外，絕緣性樹(shù)脂薄膜也有由熱塑性樹(shù)脂、或熱硬化性樹(shù)脂與熱塑性樹(shù)脂的混合體構(gòu)成的情況。并且，如圖3(a)所示，絕緣性樹(shù)脂薄膜F一般在兩面上層疊有例如由PET等構(gòu)成的保護(hù)薄膜P1、P2，在與半導(dǎo)體晶片W層疊時(shí)，如圖3(b)所示，一個(gè)保護(hù)薄膜P2被剝離，此外在將層疊后的例如安裝品安裝時(shí)，如圖3(c)所示，將另一個(gè)保護(hù)薄膜P1也剝離。絕緣性樹(shù)脂薄膜F的厚度例如是0.01～0.06mm左右。一般進(jìn)行選擇，以使凸塊B的前端貫通、如圖3(c)所示那樣當(dāng)另一個(gè)保護(hù)薄膜P1被剝離時(shí)從絕緣性樹(shù)脂薄膜F的表面露出。?

作為用來(lái)將具有這樣的突部B的被層疊體W與薄膜狀層疊體F層疊的以往的技術(shù)，已知有專利文獻(xiàn)1～4。在專利文獻(xiàn)1中，公開(kāi)了將形成有導(dǎo)電性凸塊的導(dǎo)電性箔與絕緣性樹(shù)脂層層疊、通過(guò)在平面壓力機(jī)的壓板間進(jìn)行加熱、加壓、使導(dǎo)電性凸塊貫通到絕緣性樹(shù)脂層中的技術(shù)(0012等)。此外，在專利文獻(xiàn)1中，還公開(kāi)了使導(dǎo)電性箔、絕緣性樹(shù)?脂層和分型片通過(guò)一對(duì)輥之間而加壓并加熱、導(dǎo)電性凸塊將絕緣性樹(shù)脂層貫通的技術(shù)(0064等)。?

此外，在專利文獻(xiàn)2中，公開(kāi)了使合成樹(shù)脂類(lèi)片對(duì)置于支承基體的導(dǎo)體凸塊、通過(guò)由金屬性輥和柔性橡膠輥構(gòu)成的輥、進(jìn)行一次加壓而使導(dǎo)體凸塊貫通到合成樹(shù)脂類(lèi)片中的技術(shù)(0020等)。?

此外，作為另一以往的技術(shù)，在專利文獻(xiàn)3中，公開(kāi)了由橡膠等彈性部件構(gòu)成、其下表面?zhèn)仍O(shè)為中央部位于比外周部靠下方的彎曲或傾斜面形狀的推壓機(jī)構(gòu)，記載有：通過(guò)該形狀，當(dāng)在晶片W上粘貼粘接片S時(shí)，能夠一邊將存在于粘接片S與晶片W之間的空氣向外側(cè)趕出一邊粘貼(0017)。此外，在專利文獻(xiàn)3中，記載有也可以做成使該推壓機(jī)構(gòu)為中空的彈性部件、通過(guò)壓縮空氣或減壓氣體環(huán)境使該彈性部件膨脹而將粘接片粘貼到晶片上那樣的結(jié)構(gòu)(0036)。并且，在專利文獻(xiàn)3中，將半導(dǎo)體晶片和環(huán)狀框架載置到支承機(jī)構(gòu)上，并使粘接片位于它們的上方，通過(guò)推壓機(jī)構(gòu)將粘接片夾入，對(duì)半導(dǎo)體晶片和環(huán)狀框架推壓。?

作為再另一以往的技術(shù)，在專利文獻(xiàn)4中，公開(kāi)了一種方法，進(jìn)行第1層疊加壓工序，所述第1層疊加壓工序指通過(guò)在強(qiáng)制地使具備凸塊的導(dǎo)電性支承體與合成樹(shù)脂類(lèi)片之間的空氣吸引排出的狀態(tài)下，將合成樹(shù)脂類(lèi)片層疊在導(dǎo)電性支承體上而加壓，使凸塊的前端貫通到合成樹(shù)脂類(lèi)片中而露出；接著進(jìn)行第2層疊加壓工序，所述第2層疊加壓工序指通過(guò)將導(dǎo)電性支承體層疊在合成樹(shù)脂類(lèi)片上而加壓，將從合成樹(shù)脂類(lèi)片露出的凸塊的前端壓接在導(dǎo)電體層上。并且，在專利文獻(xiàn)4中，公開(kāi)了一種加壓裝置，所述加壓裝置具備升降自如的上板、被該上板氣密地封閉的收容室、和設(shè)在收容室的底部上的一對(duì)橡膠制的推壓部件(0019)。?

專利文獻(xiàn)1：特開(kāi)平11-4076號(hào)公報(bào)?

專利文獻(xiàn)2：特開(kāi)平9-307230號(hào)公報(bào)?

專利文獻(xiàn)3：特開(kāi)2009-32853號(hào)公報(bào)?

專利文獻(xiàn)4：特開(kāi)2005-150273號(hào)公報(bào)?

在上述專利文獻(xiàn)1中，在使用平面壓力機(jī)的情況下，因?yàn)椴荒苷_地確保用來(lái)將兩壓板保持為平行的機(jī)械性的平行度、或者不能正確地保持兩壓板的加壓面自身的平行度的理由等，有不能將層疊在被層疊體上的薄膜狀層疊體成形為均勻的厚度的問(wèn)題、及被部分地較強(qiáng)地加壓而凸塊等突部壓扁、薄膜狀層疊體變得比設(shè)定的厚度薄等的問(wèn)題。?