[發明專利]層疊方法及層疊裝置有效
| 申請號： | 201210336231.0 | 申請日： | 2012-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN103129076A | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 廣瀨智章;山本隆幸 | 申請（專利權）人： | 株式會社名機制作所 |
| 主分類號： | B32B37/00 | 分類號： | B32B37/00;B32B37/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美紅;楊楷 |
| 地址： | 日本愛知縣*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 層疊 方法 裝置 | ||
1.一種層疊方法，將具有突部的被層疊體與薄膜狀層疊體疊合并加熱及加壓，由此以上述突部至少將薄膜狀層疊體貫通的方式層疊，其特征在于，
使上述被層疊體的形成有突部的一側與上述薄膜狀層疊體對置，將被層疊體與薄膜狀層疊體相互疊合；
在有彈性的承接部件與彈性膜體之間，以上述薄膜狀層疊體與上述承接部件對置且上述被層疊體與上述彈性膜體對置的方式，配置上述疊合的被層疊體和薄膜狀層疊體；
在至少將上述被層疊體與薄膜狀層疊體之間抽真空的狀態下，使上述彈性膜體膨脹，由此將上述被層疊體和薄膜狀層疊體在上述彈性膜體與承接部件之間加壓。
2.如權利要求1所述的層疊方法，其特征在于，
作為上述承接部件，配置比上述彈性膜體的硬度硬的部件。
3.如權利要求1所述的層疊方法，其特征在于，
使上述薄膜狀層疊體對置于上述被層疊體的形成有突部的一側的上方，將被層疊體與薄膜狀層疊體相互疊合；
從上述薄膜狀層疊體的上方使彈性膜體膨脹，由此將上述被層疊體與薄膜狀層疊體加壓。
4.如權利要求1～3中任一項所述的層疊方法，其特征在于，
將上述被層疊體載置到載體薄膜上，將疊合的上述薄膜狀層疊體和被層疊體輸送到上述承接部件與彈性膜體之間；
上述彈性膜體經由上述載體薄膜將上述被層疊體和薄膜狀層疊體朝向上述承接部件推壓。
5.一種層疊裝置，將具有突部的被層疊體與薄膜狀層疊體疊合并加熱及加壓，由此以上述突部至少將薄膜狀層疊體貫通的方式層疊，其特征在于，具備：
加熱機構，至少將上述薄膜狀層疊體加熱；
一對盤，可開閉地設置，當關閉時形成密閉的腔體；
有彈性的承接部件，設在該盤的一個上，與疊合在上述被層疊體的形成有突部的一側的上述薄膜狀層疊體對置；
彈性膜體，設在上述盤的另一個上，與疊合有上述薄膜狀層疊體的上述被層疊體對置；
抽真空機構，將上述腔體內抽真空；
加壓機構，使上述彈性膜體膨脹，將上述被層疊體和薄膜狀層疊體在與上述承接部件之間加壓。
6.如權利要求5所述的層疊裝置，其特征在于，
在上述一對盤中的上側的盤上設有彈性膜體；
使上述彈性膜體膨脹，將上述被層疊體和薄膜狀層疊體在設在下側的盤上的承接部件之間加壓。
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