[發明專利]液晶面板的制作方法及裝置無效
| 申請號: | 201210235057.0 | 申請日: | 2012-07-09 |
| 公開(公告)號: | CN102759815A | 公開(公告)日: | 2012-10-31 |
| 發明(設計)人: | 鄭文達 | 申請(專利權)人: | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1333 | 分類號: | G02F1/1333;G02F1/13;H01L21/77;H01L21/66 |
| 代理公司: | 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287 | 代理人: | 胡海國 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 液晶面板 制作方法 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及液晶面板制作技術領域,尤其涉及一種液晶面板的制作方法及裝置。
背景技術
TFT(Thin?Film?Transistor,薄膜場效應晶體管)液晶面板的制造通常包括陣列制程和成盒制程。其中,陣列制程包括形成TFT陣列基板及CF基板;成盒制程中,在TFT陣列基板及CF基板上形成配向膜,并將CF基板和TFT陣列基板貼合并注入液晶。
所述TFT陣列基板一般包括掃描線、數據線、TFT陣列及像素電極。在TFT陣列基板形成后,需要對TFT陣列基板進行檢測,以確認TFT基板上的掃描線、數據線是否存在缺陷。經過檢測無缺陷的TFT陣列基板,進入成盒制程,在TFT陣列基板涂布配向膜之前,需要對TFT陣列基板進行清潔,以去除TFT陣列基板上的微粒或油污等。
但是,在去除TFT陣列基板上的微粒或油污時,經常會造成TFT陣列基板的掃描線或數據線出現斷線的情況。比如,在清洗陣列基板過程中,在刮除陣列基板上的微粒時,容易造成陣列基板斷線或微斷線,并有可能會讓修補機在陣列基板上的鍍線,在清洗陣列基板后被剝離,造成陣列基板斷線;同樣,在對陣列基板進行紫外光照射時,容易使陣列基板的電子能階升高,致使后續涂布配向膜前產生靜電擊傷現象。
而在對TFT陣列基板清潔之后至在TFT陣列基板上形成配向膜之前,不會再對TFT陣列基板進行檢測,因此,在成盒制程中,若將由于清潔而造成存在斷線的TFT陣列基板與CF基板組裝,則會由于陣列基板上存在斷線,造成液晶面板的配向不良或者出現壞點,進而導致液晶面板報廢。
發明內容
本發明的主要目的在于提供一種液晶面板的制作方法及裝置,旨在降低液晶面板的報廢率。
為了達到上述目的,本發明提出一種液晶面板的制作方法,包括以下步驟:
對TFT陣列基板進行清潔處理;
對清潔處理后的TFT陣列基板進行陣列測試;
根據陣列測試處理結果,對所述TFT陣列基板進行相應處理。
優選地,所述對TFT陣列基板進行清潔處理的步驟包括:
通過清潔器對所述TFT陣列基板進行水洗;
通過超音波并結合清潔劑對水洗后的TFT陣列基板進行清潔;
對所述TFT陣列基板進行紫外光照射。
優選地,所述根據陣列測試處理結果,對所述TFT陣列基板進行相應處理的步驟包括:
若所述陣列測試處理結果為所述TFT陣列基板上存在斷線,則修補機對所述TFT陣列基板進行斷線修補;
將修補后的TFT陣列基板送入成盒制程。
優選地,所述根據陣列測試處理結果,對所述TFT陣列基板進行相應處理的步驟包括:若所述陣列測試處理結果為所述TFT陣列基板上不存在斷線,則所述TFT陣列基板被送入成盒制程。
優選地,所述通過清潔器對所述TFT陣列基板進行水洗包括由一噴水裝置向陣列基板噴水及由毛刷配合所述噴水裝置清潔TFT陣列基板。
本發明還提出一種液晶面板的制作裝置,包括:
清潔機構,用于對TFT陣列基板進行清潔處理;
陣列測試機,用于對清潔處理后的TFT陣列基板進行陣列測試;
修補機,用于修補TFT陣列基板上的斷線。
優選地,所述清潔機構包括:
清潔器,用于對所述陣列基板進行水洗,去除所述陣列基板上的較大微粒;
超音波器,用于結合清潔劑對水洗后的陣列基板進行清潔,去除所述陣列基板上的較小微粒;
紫外光照射機,用于對所述陣列基板進行紫外光照射,去除所述陣列基板上的有機物。
優選地,所述修補機具體用于當所述陣列測試處理結果為所述TFT陣列基板上存在斷線時,對所述TFT陣列基板進行斷線修補。
優選地,所述液晶面板的制作裝置進一步包括一成盒裝置,該成盒裝置用于在所述TFT陣列基板上形成配向膜,并將一CF基板與其貼合并在TFT陣列基板與CF基板之間注入液晶。
優選地,所述清潔器包括一用于向陣列基板噴水的噴水裝置和配合所述噴水裝置清潔陣列基板的毛刷。
本發明提出的一種液晶面板的制作方法及裝置,通過對完成陣列制程后的陣列基板進行清潔處理之后,再進行陣列檢測與斷線修補,可避免清潔機構在清潔處理中造成斷線的TFT陣列基板進入成盒裝置,降低了液晶面板的報廢率。同時,由于TFT陣列基板先經過清潔機構清潔處理清除TFT陣列基板上的微粒后再由陣列檢測機對TFT陣列基板進行檢測,避免了TFT陣列基板上的微粒對陣列測試機的損傷。
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