技術領域

本發明涉及一種靜電吸盤的冷卻裝置，特別涉及一種導水管和帶有導水管的靜電吸盤。

背景技術

在半導體制造領域中，靜電吸盤（ESC）中具有循環水冷卻管，在靜電吸盤[BAO1]?通常裝有導水管，用于給靜電吸盤提供冷卻水以達到降溫保護的效果，該導水管的出水接口對應靜電吸盤的進水接口，導水管的回水接口對應靜電吸盤的出水接口，導水管的材料為聚四氟乙烯（Teflon），在靜電吸盤工作時，其上施加有固定晶圓的偏壓，從而會在導水管的出水接口與回水接口處會產生微電弧，該微電弧會將材料為聚四氟乙烯的導水管損傷，需要經常更換，大大提高了生產成本。

發明內容

本發明的目的是提供一種導水管和帶有導水管的靜電吸盤，利用陶瓷的耐高溫和抗等離子體的特性，保證了導水管不被微電弧損傷，避免因導水管的損壞而導致的冷卻水泄露，無需經常更換，大大節省了生產成本，提高了生產效率。

為了實現以上目的，本發明是通過以下技術方案實現的：

一種導水管，所述的導水管固定設置在靜電吸盤的底部，該導水管的送水接口與靜電吸盤底部的進水接口對應設置，該導水管的回水接口與靜電吸盤的出水接口對應設置，所述的導水管的材料為陶瓷。

一種帶有導水管的靜電吸盤，所述的靜電吸盤的底部固定設置有導水管，所述的導水管的送水接口與靜電吸盤底部的進水接口對應設置，該導水管的回水接口與靜電吸盤的出水接口對應設置；所述的導水管的材料為陶瓷。

本發明與現有技術相比，具有以下優點：

由于導水管采用陶瓷材料，利用陶瓷耐高溫和抗等離子體的特性，保證了導水管不被微電弧損傷，避免因導水管的損壞而導致的冷卻水泄露，無需經常更換，大大節省了生產成本，提高了生產效率。

附圖說明

圖1為本發明一種導水管的結構示意圖；

圖2為本發明一種帶有導水管的靜電吸盤的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖，通過詳細說明一個較佳的具體實施例，對本發明做進一步闡述。

圖1為一種導水管1。該導水管1通過螺栓固定設置在靜電吸盤2的底部，其送水接口11與靜電吸盤2底部的進水接口對應設置，其回水接口12與靜電吸盤2的出水接口對應設置，該導水管1的材料選用陶瓷；在本實施例中，在導水管1與靜電吸盤2相應的水接口處設置O型環用于水密封。

圖2為一種帶有導水管1的靜電吸盤2。該靜電吸盤2的底部通過螺栓固定設置有導水管1，該靜電吸盤2底部的進水接口與導水管1的送水接口11對應設置，該靜電吸盤2的出水接口與導水管1的回水接口12對應設置；該導水管2的材料選用陶瓷；在本實施例中，在導水管1與靜電吸盤2的對應的水接口處設置O型環用于水密封。

當使用時，通過導水管1的送水接口11將冷卻水輸入靜電吸盤2，再經回水接口12將冷卻水循環出去，帶走靜電吸盤2中的熱量，起到散熱降溫的效果，保護靜電吸盤2，由于圖1和圖2中所示的導水管1的材料選用陶瓷，陶瓷具有耐高溫和抗等離子體的特性，當由于靜電吸盤2上施加有固定晶圓的偏壓而在O型環處產生微電弧時，可防止導水管1被微電弧損傷，避免因導水管1的損壞而導致的冷卻水泄露，并且不需要經常更換，節省了更換導水管1的成本，還可以節省時間，從而提高生產效率。

綜上所述，本發明一種導水管1和帶有導水管1的靜電吸盤2，利用陶瓷的耐高溫和抗等離子體的特性，保證了導水管1不被微電弧損傷，避免因導水管1的損壞而導致的冷卻水泄露，無需經常更換，大大節省了生產成本，提高了生產效率。

盡管本發明的內容已經通過上述優選實施例作了詳細介紹，但應當認識到上述的描述不應被認為是對本發明的限制。在本領域技術人員閱讀了上述內容后，對于本發明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發明的保護范圍應由所附的權利要求來限定。?