[發明專利]一種導水管和帶有導水管的靜電吸盤在審
| 申請號： | 201210081783.1 | 申請日： | 2012-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN103367216A | 公開（公告）日： | 2013-10-23 |
| 發明（設計）人： | 熊輝;解毅;何雅彬;馬世余;童沈磊;劉智祥;周赟;蒲奇兵 | 申請（專利權）人： | 上海宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 張靜潔;徐雯瓊 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 水管 帶有 靜電 吸盤 | ||
【權利要求書】：
1.一種導水管，所述的導水管（1）固定設置在靜電吸盤（2）的底部，該導水管（1）的送水接口（11）與靜電吸盤（2）底部的進水接口對應設置，該導水管（1）的回水接口（12）與靜電吸盤（2）的出水接口對應設置，其特征在于，所述的導水管（1）的材料為陶瓷。
2.一種帶有導水管的靜電吸盤，其特征在于，所述的靜電吸盤（2）的底部固定設置有導水管（1），所述的導水管（1）的送水接口（11）與靜電吸盤（2）底部的進水接口對應設置，該導水管（1）的回水接口（12）與靜電吸盤（2）的出水接口對應設置；所述的導水管（2）的材料為陶瓷。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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