技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種平臺系統(tǒng)和包括這樣的平臺系統(tǒng)的光刻設(shè)備。

背景技術(shù)

光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上(通常應(yīng)用到所述襯底的目標(biāo)部分上)的機器。例如，可以將光刻設(shè)備用在集成電路(IC)的制造中。在這種情況下，可以將可選地稱為掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置用于生成待形成在所述IC的單層上的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉(zhuǎn)移到襯底(例如，硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如，包括一部分管芯、一個或多個管芯)上。典型地，經(jīng)由成像將所述圖案轉(zhuǎn)移到在所述襯底上設(shè)置的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上。通常，單個襯底將包含連續(xù)形成圖案的相鄰目標(biāo)部分的網(wǎng)絡(luò)。傳統(tǒng)的光刻設(shè)備包括：所謂步進(jìn)機，在所述步進(jìn)機中，通過將整個圖案一次曝光到所述目標(biāo)部分上來輻射每一個目標(biāo)部分；以及所謂掃描器，在所述掃描器中，通過輻射束沿給定方向(“掃描”方向)掃描所述圖案、同時沿與該方向平行或反向平行的方向同步掃描所述襯底來輻射每一個目標(biāo)部分。還可以通過將所述圖案壓印到所述襯底上，而將所述圖案從所述圖案形成裝置轉(zhuǎn)移到所述襯底上。

襯底由襯底臺保持，該襯底臺由致動器移動以便能夠輻射襯底的表面的連續(xù)的多個部分，例如使用步進(jìn)或掃描工序。在通常的實施方式中，致動器包括兩個主要部分：下部(所謂的長行程)和上部(所謂的短行程)，該下部負(fù)責(zé)粗定位，該上部負(fù)責(zé)精定位。為了優(yōu)化短行程的性能，應(yīng)當(dāng)將盡可能小的擾動作用到短行程上。這意味著理想地在長行程和短行程之間沒有機械或其它耦接，使得長行程移動或變形不會不利地影響短行程的性能。傳統(tǒng)的設(shè)計通過利用數(shù)量被最小化的柔性很好的連接和由6自由度(DoF)洛倫茲致動器系統(tǒng)的致動來最小化串?dāng)_。

發(fā)明內(nèi)容

期望提供精確的短行程定位。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，提供了一種平臺系統(tǒng)，包括：物體臺，構(gòu)造成保持物體；短行程致動器元件，構(gòu)造成在第一移動范圍上將所述物體臺移位；長行程致動器元件，構(gòu)造成在第二移動范圍上對所述短行程致動器元件移位，所述第二移動范圍大于所述第一移動范圍，所述平臺系統(tǒng)還包括氣動補償裝置，所述氣動補償裝置包括：傳感器，布置成測量表示所述短行程致動器元件上的氣動擾動力的量；致動器，布置成提供補償力，以至少部分地補償所述氣動擾動；和控制器，所述傳感器連接至所述控制器的控制器輸入，所述致動器連接至所述控制器的控制器輸出，所述控制器布置成響應(yīng)于從傳感器接收的信號來驅(qū)動所述致動器。

在本發(fā)明的另一實施例中，提供了一種平臺系統(tǒng)，包括：物體臺，構(gòu)造成保持物體；短行程致動器元件，構(gòu)造成在第一移動范圍上對所述物體臺移位；長行程致動器元件，構(gòu)造成在第二移動范圍上對所述短行程致動器元件移位，所述第二移動范圍大于所述第一移動范圍，所述平臺系統(tǒng)包括連接開口，所述連接開口將在所述長行程致動器元件和短行程致動器元件之間的間隙連接至所述平臺系統(tǒng)的外部環(huán)境，以允許氣體經(jīng)由所述連接開口流入到所述間隙中和從所述間隙流出。

根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，提供了一種平臺系統(tǒng)，包括：物體臺，構(gòu)造成保持物體；短行程致動器元件，構(gòu)造成在第一移動范圍上對所述物體臺移位；長行程致動器元件，構(gòu)造成在第二移動范圍上對所述短行程致動器元件移位，所述第二移動范圍大于所述第一移動范圍；和開口，所述開口設(shè)置成穿過所述長行程致動器元件，所述開口從在所述短行程致動器元件和長行程致動器元件之間的間隙朝向在所述長行程致動器元件和靜止結(jié)構(gòu)之間的間隙延伸。

根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，提供了一種平臺系統(tǒng)，包括：物體臺，構(gòu)造成保持物體；短行程致動器元件，構(gòu)造成在第一移動范圍上對所述物體臺移位；長行程致動器元件，構(gòu)造成在第二移動范圍上對所述短行程致動器元件移位，所述第二移動范圍大于所述第一移動范圍，其中所述短行程致動器元件包括加強肋，所述加強肋設(shè)置有通孔。

根據(jù)本發(fā)明的又一實施例，提供了一種光刻設(shè)備，包括任何上述的平臺系統(tǒng)。

附圖說明

現(xiàn)在參照隨附的示意性附圖，僅以舉例的方式，描述本發(fā)明的實施例，其中，在附圖中相應(yīng)的附圖標(biāo)記表示相應(yīng)的部件，且其中：

圖1示出可以設(shè)置本發(fā)明的一實施例的光刻設(shè)備；

圖2示出平臺系統(tǒng)的示意圖，用于顯示本發(fā)明的一實施例的總體構(gòu)思；

圖3示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的平臺系統(tǒng)的示意圖；

圖4示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的平臺系統(tǒng)的示意圖；

圖5示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的平臺系統(tǒng)的示意圖；

圖6示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的平臺系統(tǒng)的示意圖；