1.一種平臺系統(tǒng)，包括：

物體臺，構(gòu)造成保持物體；

短行程致動器元件，構(gòu)造成在第一移動范圍上對所述物體臺移位；

長行程致動器元件，構(gòu)造成在第二移動范圍上對所述短行程致動器元件移位，所述第二移動范圍大于所述第一移動范圍，和

氣動補(bǔ)償裝置，包括：

傳感器，布置成測量表示所述平臺系統(tǒng)的元件上的氣動擾動力的量，

致動器，布置成提供補(bǔ)償力，以至少部分地補(bǔ)償所述氣動擾動，和

控制器，布置成響應(yīng)于從傳感器接收的信號來驅(qū)動所述致動器，其中所述傳感器連接至所述控制器的控制器輸入，所述致動器連接至所述控制器的控制器輸出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平臺系統(tǒng)，其中所述元件是短行程致動器元件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平臺系統(tǒng)，設(shè)置有位置測量系統(tǒng)，用于測量所述短行程致動器元件和長行程致動器元件中的一個的位置，其中所述元件是所述位置測量系統(tǒng)的一部分。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的平臺系統(tǒng)，其中所述傳感器包括壓力傳感器。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平臺系統(tǒng)，其中所述壓力傳感器被彈性地安裝至所述長行程致動器元件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的平臺系統(tǒng)，其中所述傳感器包括加速度計。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的平臺系統(tǒng)，其中所述加速度計基本上設(shè)置在所述物體臺的彎曲模式或扭曲模式的腹點(diǎn)位置處。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的平臺系統(tǒng)，其中所述控制器包括估計器，所述估計器布置成根據(jù)由所述加速度計測量的加速度確定壓力變化。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的平臺系統(tǒng)，其中所述致動器是短行程致動器元件。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項所述的平臺系統(tǒng)，其中所述致動器是聲波傳送器。

11.一種平臺系統(tǒng)，包括：

物體臺，構(gòu)造成保持物體；

短行程致動器元件，構(gòu)造成在第一移動范圍上對所述物體臺移位；

長行程致動器元件，構(gòu)造成在第二移動范圍上對所述短行程致動器元件移位，所述第二移動范圍大于所述第一移動范圍，和

連接開口，所述連接開口將在所述長行程致動器元件和短行程致動器元件之間的間隙連接至所述平臺系統(tǒng)的外部環(huán)境，以允許氣體經(jīng)由所述連接開口流入到所述間隙中和從所述間隙流出。

12.一種平臺系統(tǒng)，包括：

物體臺，構(gòu)造成保持物體；

短行程致動器元件，構(gòu)造成在第一移動范圍上對所述物體臺移位；

長行程致動器元件，構(gòu)造成在第二移動范圍上對所述短行程致動器元件移位，所述第二移動范圍大于所述第一移動范圍，和

開口，設(shè)置成穿過所述長行程致動器元件，所述開口從在所述短行程致動器元件和長行程致動器元件之間的間隙朝向在所述長行程致動器元件和靜止結(jié)構(gòu)之間的間隙延伸。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的平臺系統(tǒng)，其中所述開口由柔性材料封閉，諸如隔膜。

14.一種平臺系統(tǒng)，包括：

物體臺，構(gòu)造成保持物體；

短行程致動器元件，構(gòu)造成在第一移動范圍上對所述物體臺移位；

長行程致動器元件，構(gòu)造成在第二移動范圍上對所述短行程致動器元件移位，所述第二移動范圍大于所述第一移動范圍，

其中所述短行程致動器元件包括加強(qiáng)肋，所述加強(qiáng)肋設(shè)置有通孔。

15.一種光刻設(shè)備，包括根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的平臺系統(tǒng)。