相關(guān)申請(qǐng)案的交叉參考

本專(zhuān)利申請(qǐng)案主張2010年12月29日申請(qǐng)的第10-2010-0137787號(hào)韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)案的優(yōu)先權(quán)以及由其產(chǎn)生的所有權(quán)益，所述申請(qǐng)案的內(nèi)容以全文引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于供應(yīng)原材料的分配設(shè)備及方法，所述分配設(shè)備包含用于容易地供應(yīng)原材料的原材料供應(yīng)單元。

背景技術(shù)

如果需要平板顯示器(例如液晶顯示器、等離子體顯示器面板以及有機(jī)發(fā)光裝置)，則將上部襯底和下部襯底接合在一起以制造所述平板顯示器。這里，為將上部襯底和下部襯底接合在一起，用密封劑涂覆上部襯底和下部襯底，所述密封劑為使密封劑固化的接合材料。

用于將密封劑涂覆在襯底上的分配設(shè)備包含上面安裝有襯底的載物臺(tái)、設(shè)置在載物臺(tái)上方的門(mén)架、固定到門(mén)架以在水平方向上移動(dòng)的同時(shí)將密封劑涂覆在襯底上的分配器，以及用于將原材料供應(yīng)到分配器中的原材料供應(yīng)單元。這里，原材料供應(yīng)單元包含儲(chǔ)存有密封劑的罐以及一端連接到罐且另一端連接到分配器的供應(yīng)管線。因此，當(dāng)將罐內(nèi)的密封劑排放到供應(yīng)管線中時(shí)，可經(jīng)由供應(yīng)管線將密封劑供應(yīng)到分配器中。

為連續(xù)不斷地將密封劑供應(yīng)到襯底上，應(yīng)將密封劑供應(yīng)到分配器中。因此，原材料供應(yīng)單元連續(xù)不斷地將密封劑供應(yīng)到分配器中，同時(shí)利用分配器將密封劑涂覆在襯底上。當(dāng)將密封劑供應(yīng)到分配器中時(shí)，由于來(lái)自罐中的密封劑的排放誤差、罐中接收到的密封劑的耗盡或供應(yīng)管線的損壞，密封劑可能不會(huì)連續(xù)不斷地被供應(yīng)到分配器中。如上所述，當(dāng)密封劑并未連續(xù)不斷地被供應(yīng)到分配器中或供應(yīng)到分配器中的密封劑的量不足時(shí)，密封劑可能不會(huì)連續(xù)不斷地被供應(yīng)到襯底上。因此，可能會(huì)停止將密封劑涂覆在襯底上的涂覆制程以延遲涂覆密封劑的制程時(shí)間，或者會(huì)引起密封劑的圖案缺陷。此外，分配設(shè)備的操作誤差(即，來(lái)自罐中的密封劑的排放誤差、罐中接收到的密封劑的耗盡以及供應(yīng)管線的損壞)可能不會(huì)被實(shí)時(shí)掌握。因此，當(dāng)原材料供應(yīng)過(guò)程中出現(xiàn)操作誤差時(shí)，這些誤差可能不會(huì)立即得到改正。因此，涂覆密封劑的制程時(shí)間可能會(huì)增加，且密封劑的圖案缺陷也可能會(huì)出現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種用于供應(yīng)原材料的分配設(shè)備及方法，所述分配設(shè)備包含用于容易地將原材料供應(yīng)到分配器中的原材料供應(yīng)單元。

本發(fā)明還提供一種用于供應(yīng)原材料的分配設(shè)備及方法，所述分配設(shè)備實(shí)時(shí)檢測(cè)原材料的供應(yīng)狀態(tài)。

本發(fā)明還提供一種用于供應(yīng)原材料的分配設(shè)備及方法，所述分配設(shè)備實(shí)時(shí)檢測(cè)供應(yīng)管線內(nèi)的壓力變化以實(shí)時(shí)檢測(cè)原材料的供應(yīng)狀態(tài)，從而容易地將原材料供應(yīng)到分配器中。

根據(jù)示范性實(shí)施例，一種分配設(shè)備包含：分配器，其經(jīng)配置以將原材料涂覆在襯底上；原材料供應(yīng)模塊，其經(jīng)配置以將原材料供應(yīng)到分配器中；供應(yīng)管線，其一端連接到原材料供應(yīng)模塊且另一端連接到分配器，所述供應(yīng)管線經(jīng)配置以將從原材料供應(yīng)模塊供應(yīng)的原材料供應(yīng)到分配器中；以及控制模塊，其經(jīng)配置以檢測(cè)供應(yīng)管線內(nèi)的壓力，以利用供應(yīng)管線內(nèi)的測(cè)得壓力控制從原材料供應(yīng)模塊供應(yīng)到供應(yīng)管線中的原材料的供應(yīng)流動(dòng)速率。

原材料供應(yīng)模塊可包含：罐，其經(jīng)配置以接收原材料；泵抽組件，其一端連接到罐且另一端連接到供應(yīng)管線，所述泵抽組件經(jīng)配置以利用泵抽力將罐中接收到的原材料供應(yīng)到供應(yīng)管線中；以及供應(yīng)管道，其一端連接到罐且另一端連接到泵抽組件。

供應(yīng)管道可包含原材料量檢測(cè)單元，所述原材料量檢測(cè)單元經(jīng)配置以檢測(cè)供應(yīng)管道中接收到的原材料的量。

經(jīng)配置以利用原材料的介電常數(shù)差測(cè)量界面高度的電容傳感器可用作原材料量檢測(cè)單元。

控制模塊可包含經(jīng)配置以檢測(cè)供應(yīng)管線內(nèi)壓力的傳感器。

控制模塊可包含：判定單元，其經(jīng)配置以將由傳感器測(cè)得的供應(yīng)管線內(nèi)的壓力與預(yù)設(shè)壓力相比較以判定原材料的供應(yīng)狀態(tài)；以及控制單元，其連接到判定單元和泵抽組件以根據(jù)由判定單元判定的結(jié)果控制泵抽組件，從而調(diào)整泵抽力。

根據(jù)另一示范性實(shí)施例，一種用于供應(yīng)原材料的方法包含：制備襯底并將用于涂覆原材料的分配器設(shè)置在襯底的頂表面上；利用用于供應(yīng)原材料的原材料供應(yīng)模塊將原材料供應(yīng)到分配器中；以及利用分配器將原材料涂覆到襯底上，其中將原材料供應(yīng)到分配器中包含：利用原材料供應(yīng)模塊的泵抽力經(jīng)由供應(yīng)管線將原材料供應(yīng)到分配器中；檢測(cè)供應(yīng)管線內(nèi)的壓力；將供應(yīng)管線內(nèi)的測(cè)得壓力與供應(yīng)管線內(nèi)的預(yù)設(shè)壓力相比較以判定原材料的供應(yīng)狀態(tài)；以及根據(jù)關(guān)于原材料的供應(yīng)狀態(tài)的判定的結(jié)果維持、增加或減小原材料供應(yīng)模塊的泵抽力。

當(dāng)供應(yīng)管線內(nèi)的測(cè)得壓力等于供應(yīng)管線內(nèi)的預(yù)設(shè)壓力時(shí)，原材料供應(yīng)模塊的泵抽力可維持于目前狀態(tài)中。