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[發明專利]供應原材料的分配設備及方法無效

專利信息
申請號: 201110446952.2 申請日: 2011-12-28
公開(公告)號: CN102553782A 公開(公告)日: 2012-07-11
發明(設計)人: 劉正必;崔鍾權;尹青龍 申請(專利權)人: AP系統股份有限公司
主分類號: B05C5/00 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05D1/26
代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 韓國京畿道*** 國省代碼: 韓國;KR
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 供應 原材料 分配 設備 方法
【權利要求書】:

1.一種分配設備,包括:

分配器,經配置以將原材料涂覆在襯底上;

原材料供應模塊,經配置以將所述原材料供應到所述分配器中;

供應管線,一端連接到所述原材料供應模塊且另一端連接到所述分配器,所述供應管線經配置以將從所述原材料供應模塊供應的所述原材料供應到所述分配器中;以及

控制模塊,經配置以檢測所述供應管線內的壓力,以利用所述供應管線內的測得壓力控制從所述原材料供應模塊供應到所述供應管線中的所述原材料的供應流動速率。

2.根據權利要求1所述的分配設備,其特征在于所述原材料供應模塊包括:

罐,經配置以接收所述原材料;

泵抽組件,一端連接到所述罐且另一端連接到所述供應管線,所述泵抽組件經配置以利用泵抽力將所述罐中接收到的所述原材料供應到所述供應管線中;以及

供應管道,一端連接到所述罐且另一端連接到所述泵抽組件。

3.根據權利要求2所述的分配設備,其特征在于所述供應管道包括原材料量檢測單元,所述原材料量檢測單元經配置以檢測所述供應管道中接收到的所述原材料的量。

4.根據權利要求3所述的分配設備,其特征在于經配置以利用所述原材料的介電常數差測量界面高度的電容傳感器用作所述原材料量檢測單元。

5.根據權利要求1所述的分配設備,其特征在于所述控制模塊包括經配置以檢測所述供應管線內的壓力的傳感器。

6.根據權利要求1或5所述的分配設備,所述控制模塊包括:

判定單元,經配置以將由所述傳感器測得的所述供應管線內的壓力與預設壓力相比較,以判定所述原材料的供應狀態;以及

控制單元,連接到所述判定單元和所述泵抽組件,以根據由所述判定單元判定的結果控制所述泵抽組件,從而調整泵抽力。

7.一種用于供應原材料的方法,包括:

制備襯底并將用于涂覆原材料的分配器設置在所述襯底的頂表面上;

利用用于供應所述原材料的原材料供應模塊將所述原材料供應到所述分配器中;以及

利用所述分配器將所述原材料涂覆到所述襯底上,

其中所述原材料到所述分配器中的供應包括:

利用所述原材料供應模塊的泵抽力將所述原材料經由供應管線供應到所述分配器中;

檢測所述供應管線內的壓力;

將所述供應管線內的測得壓力與所述供應管線內的預設壓力相比較,以判定所述原材料的供應狀態;以及

根據關于所述原材料的所述供應狀態的判定的結果維持、增加或減小所述原材料供應模塊的所述泵抽力。

8.根據權利要求7所述的用于供應原材料的方法,其特征在于當所述供應管線內的所述測得壓力等于所述供應管線內的所述預設壓力時,所述原材料供應模塊的所述泵抽力維持于目前狀態中。

9.根據權利要求7所述的用于供應原材料的方法,其特征在于當所述供應管線內的所述測得壓力小于所述供應管線內的所述預設壓力時,所述原材料供應模塊的所述泵抽力增加,以增加供應到所述供應管線中的所述原材料的流動速率。

10.根據權利要求7所述的用于供應原材料的方法,其特征在于當所述供應管線內的所述測得壓力大于所述供應管線內的所述預設壓力時,所述原材料供應模塊的所述泵抽力減小,以減小供應到所述供應管線中的所述原材料的流動速率。

11.根據權利要求7至10中任一權利要求所述的用于供應原材料的方法,其特征在于將密封劑和液晶中的一者用作所述原材料。

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