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[發(fā)明專利]納米工藝提高有源器件性能的設(shè)計(jì)方法無效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201110395526.0 申請(qǐng)日: 2011-12-03
公開(公告)號(hào): CN103137693A 公開(公告)日: 2013-06-05
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 蔣樂樂;宋雯;劉丹青;程玉華 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 上海北京大學(xué)微電子研究院
主分類號(hào): H01L29/78 分類號(hào): H01L29/78;H01L29/06
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 201203 *** 國(guó)省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 納米 工藝 提高 有源 器件 性能 設(shè)計(jì) 方法
【權(quán)利要求書】:

1.?一種提高有源器件性能的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,設(shè)計(jì)襯底為條形結(jié)構(gòu),并將之安置在原有NMOS標(biāo)準(zhǔn)器件D端一側(cè),與D端的距離為設(shè)計(jì)規(guī)則最小值。

2.一種提高有源器件性能的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,設(shè)計(jì)襯底為條形結(jié)構(gòu),并將之安置在原有PMOS標(biāo)準(zhǔn)器件S端一側(cè),與S端的距離為設(shè)計(jì)規(guī)則最小值。

3.如權(quán)利要求1所述的器件設(shè)計(jì)方法,其特征在于,在NMOS器件D端一側(cè)安置條形襯底,限制了D端方向上淺槽隔離區(qū)的寬度,即圖示中的STI寬度,能減小淺槽隔離區(qū)對(duì)NMOS器件的應(yīng)力,最大限度提高NMOS器件驅(qū)動(dòng)能力。

4.如權(quán)利要求1所述的器件設(shè)計(jì)方法,其特征在于,這種設(shè)計(jì)方法不增加額外的金屬或有源區(qū)填充部分,因而節(jié)約了NMOS器件面積。

5.如權(quán)利要求2所述的器件設(shè)計(jì)方法,其特征在于,在PMOS器件S端一側(cè)安置條形襯底,限制了S端方向上淺槽隔離區(qū)的寬度,即圖示中的STI寬度,而D端為開放STI狀態(tài)。

6.由于S端STI應(yīng)力的減小并不明顯影響PMOS性能,因此不會(huì)削弱PMOS器件驅(qū)動(dòng)能力。

7.如權(quán)利要求2所述的器件設(shè)計(jì)方法,其特征在于,將襯底以最小設(shè)計(jì)規(guī)則值靠近PMOS源端,因而節(jié)約了PMOS器件面積。

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