[發(fā)明專利]納米工藝提高有源器件性能的設(shè)計(jì)方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110395526.0 | 申請(qǐng)日: | 2011-12-03 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103137693A | 公開(公告)日: | 2013-06-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 蔣樂樂;宋雯;劉丹青;程玉華 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海北京大學(xué)微電子研究院 |
| 主分類號(hào): | H01L29/78 | 分類號(hào): | H01L29/78;H01L29/06 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201203 *** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 納米 工藝 提高 有源 器件 性能 設(shè)計(jì) 方法 | ||
1.?一種提高有源器件性能的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,設(shè)計(jì)襯底為條形結(jié)構(gòu),并將之安置在原有NMOS標(biāo)準(zhǔn)器件D端一側(cè),與D端的距離為設(shè)計(jì)規(guī)則最小值。
2.一種提高有源器件性能的設(shè)計(jì)方法,其特征在于,設(shè)計(jì)襯底為條形結(jié)構(gòu),并將之安置在原有PMOS標(biāo)準(zhǔn)器件S端一側(cè),與S端的距離為設(shè)計(jì)規(guī)則最小值。
3.如權(quán)利要求1所述的器件設(shè)計(jì)方法,其特征在于,在NMOS器件D端一側(cè)安置條形襯底,限制了D端方向上淺槽隔離區(qū)的寬度,即圖示中的STI寬度,能減小淺槽隔離區(qū)對(duì)NMOS器件的應(yīng)力,最大限度提高NMOS器件驅(qū)動(dòng)能力。
4.如權(quán)利要求1所述的器件設(shè)計(jì)方法,其特征在于,這種設(shè)計(jì)方法不增加額外的金屬或有源區(qū)填充部分,因而節(jié)約了NMOS器件面積。
5.如權(quán)利要求2所述的器件設(shè)計(jì)方法,其特征在于,在PMOS器件S端一側(cè)安置條形襯底,限制了S端方向上淺槽隔離區(qū)的寬度,即圖示中的STI寬度,而D端為開放STI狀態(tài)。
6.由于S端STI應(yīng)力的減小并不明顯影響PMOS性能,因此不會(huì)削弱PMOS器件驅(qū)動(dòng)能力。
7.如權(quán)利要求2所述的器件設(shè)計(jì)方法,其特征在于,將襯底以最小設(shè)計(jì)規(guī)則值靠近PMOS源端,因而節(jié)約了PMOS器件面積。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L29-00 專門適用于整流、放大、振蕩或切換,并具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體器件;具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘,例如PN結(jié)耗盡層或載流子集結(jié)層的電容器或電阻器;半導(dǎo)體本體或其電極的零部件
H01L29-02 .按其半導(dǎo)體本體的特征區(qū)分的
H01L29-40 .按其電極特征區(qū)分的
H01L29-66 .按半導(dǎo)體器件的類型區(qū)分的
H01L29-68 ..只能通過對(duì)一個(gè)不通有待整流、放大或切換的電流的電極供給電流或施加電位方可進(jìn)行控制的
H01L29-82 ..通過施加于器件的磁場(chǎng)變化可控的





